1微米自对准CoSi_2 SALICIDE MOS技术研究

针对微米与亚微米器件对自对准硅化物技术的要求,本文报道了沟道长度为1微米的自对准CoSi_2硅化物化MOSFET(SALICIDE)技术的实验结果.首先研究了CoSi_2薄膜形成动力学和膜性质,随后着重研究并讨论了与自对准CoSi_2技术有关的一些重要问题,包括各向异性刻蚀、选择腐蚀和栅侧壁氧化物上的桥接试验等,最后给出了 1μm沟道长度的自对准 CoSi_2 SALICIDE MOS晶体管的电学性能实验结果.     

深度城市化过程中的低碳生态新城建设

打造低碳生态新城,是在实现“深度城市化”过程中的一个重要发展方向。在借鉴德国发展低碳经济先进理念的基础上,提出了低碳生态新城的建设思路,旨在探索一条适合于上海的低碳发展道路。     

SAM扫描器件芯/焊结合空洞的失效分析

超声无损检测是70种无损探伤技术的最热点。扫描声学显微镜(SAM)的原理是声阻抗成像,要求缺陷尺度大于超声波的波长。结合SAM技术中的A-扫描波形分析和C-扫描特征成像,针对由封装引入的分层和空洞缺陷进行失效分析。研究发现:分层定位的关键是A-扫描波形分析中对各界面处反射波的时间位置的判断;基于分层定位的芯/焊结合空洞缺陷的判别,关键是C-扫描图像中灰阶色带的区分(反射率差值)。     

SMW工法在深基坑围护施工中的质量控制

SMW工法用作6-10m深基坑围护结构的技术较为成熟,但在超10m深度,且为软弱地基的条件下,施工质量难以控制。为此,根据施工实践,从工艺、进度、投资和成本的角度对SMW工法质量控制的关键点进行了总结。     

高速开关型数字阀装置

电液控制系统中,最普通的控制信号是连续变化的电压或电流。然而,对计算机来说,最普通的输入或输出信号是开或关。在控制信号只有通、断两个值的条件下,用调制信号脉冲宽度的方法对电液控制系统进行控制。此时,电液元件可以采用结构简单的高速开关型数字阀和功率损耗小、结构简单的放大器。国外已相继开展这方面的研究。我们自行研制了应用计算机脉宽调制控制的     

石材清洗剂检测方法

石材的专用清洗药剂已经成为石材行业的不可缺少的内容。目前，我国石材清洗剂的研制、生产和使用还处于起步阶段，尽早地规范石材清洗剂的检测和评价方法对于我国建筑石材清洗业的发展具有重要意义。一、石材清洗剂的分类石材清洗剂按形态可分为：液体型、气溶胶型、粉末型等；按溶剂的性质可分为：水剂型、溶剂型、乳液型、凝胶型等；按清洗剂的酸碱性可分为：酸性型、中性型、碱性型等；也可按清洗对象分为:去除各种污垢（无机污垢，如锈斑、墨迹、白华、盐斑、水斑等；有机污垢，如油斑、茶水迹、生物色素等）的专用清洗剂。由于石材表…     

AI/W/TiN/AI及AI/W/TiW/AI结构特性研究

本文研究了H_2还原WF_6在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上LPCVD生长钨膜的特性。测量和分析了Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构的接触电阻和界面特性,研究了两种结构的热稳定性。结果表明,H_2还原WF_6可以在α-Si/TiN/Al和TiW/Al衬底上实现选择性钨淀积,钨膜质量较好。Al/W/TiN/Al和Al/W/TiW/Al结构接触电阻率为10~(-?)Ωcm~2量级,远低于难熔金属硅化物同硅的欧姆接触电阻率。两种结构的热稳定性良好。采用TiN或TiW作为Al和W之间的隔离层,CVD-W填充互连层连通孔可以满足多层金属平坦化互连技术的要求。     

争夺主导权还太早

2006年12月4日《中国移动银行》我很看好移动支付这个手机应用。手机是最具有创新潜能的移动设备,可以把众多商务和娱乐的功能整合在一起,其他的手持设备在这一点上都不能和它相比。但比起互联网支付,移动支付面临的推广难度更大。最基础的是技术标准的统一,但这和所有标准问题一样,都面临着不同监管部门之间对主导权的争夺。在中国,这几乎是所有标准成败的关键之一。目前这个阶段首先要做的是把移动支付市场做大,这需要运营商和商业银行来合作,而不是在市场还没成形的时候就争抢所谓的主导权。当然,这种合作是一种竞合的关系,一方面,运营商…     

巷道掘进中的打眼操作及提高速度问题

在巷道掘进中,如何提高打眼速度,对縮短整个凿岩作业的循环时間和加快掘进速度,都有重要的作用。現就打眼操作和提高打眼速度的問題,談談个人的一些看法。一、打眼操作方法炮眼打得快慢,除了和打眼机具、岩石性质有关外,操作方法恰当与否也有重要关系。一般在操作上应注意以下几点: 1.打眼之前,可先打开风机吹吹风管,然后再接