机电系统通用建模矩阵法

建立了机、电、液元（部）件传递矩阵模型的统一表示形式，列出了典型元（部）件的传递矩阵模型，将网络节点及扰动边界条件表示成标准矩阵形式，建立了适合于分布参数机电耦合系统频域建模的通用传递矩阵法，为大规模机、电、液网络的频率特性计算及仿真提供了一种新的手段，研究结果表明：复杂网络拓扑结构可用规范的系数矩阵描述，通过常规矩阵运算可有效地对网络的固有特性进行频域仿真。     

Fitting methods for relaxation modulus of viscoelastic materials

Based on viscoelastic theory, two new computational methods of solving linear equations and minimum value of the l-norm were put forward for transforming Kohlransch-William-Watts （KWW） function of viscoelastic materials to the generalized Maxwell model. The computational methods for the Maxwell model fitting were achieved in MATLAB software. It is found that fitting precision of the two methods is very high. The method of solving linear equations needs more fitting points and more numbers of Maxwell units. It makes the program of finite element analysis complex. While the method of solving minimum value of 1-norm can obtain very high precision only using less fitting points. These methods can fit not only experimental curve of KWW function, but also the experimental data directly.     

Novel manufacturing method of optical fiber coupler

Based on the coupling mode theory that the coupling ratio of fiber coupler changes periodically with center distance of two optical fibers, a novel manufacturing method of optical fiber couplers was developed with fused biconical taper experimental system. Its fabrication process is that the fiber is fused but not stretched when light begins to split, and the reduction of diameter of fiber is dependent on the theological characteristic of the fused fiberglass. The performance of the coupler was tested. The results show that the performance of the novel optical fiber coupler meets the performance expectations, and its diameter of coupling region （about 30 μm） is twice as long as that of classical fused biconical taper coupler （about 16 μm）, so the default, that is, the device is easy to fracture, is restrained and the reliability is greatly improved.     

光纤连接器端面研抛机轨迹分析及均匀研抛机理研究

分析了一种光纤连接器端面研抛机的运动原理。推导出工件相对于研磨盘的运动轨迹S1和研磨盘相对于工件的运动轨迹S2的表达式,得出S1、S2均为次摆线,分析了轨迹随相关参数的变化规律。对于S1,次外和次内摆线的分界点为速比I=1。研究了工件均匀研抛和砂纸均匀磨损的机理,即相对轨迹弧长S对相应半径R的微分dS/dR应与R成线性关系,推导出相应线性系数k的表达式,并通过单因素试验法求出优化参数配置。     

工艺参数对光纤耦合器性能影响的实验研究

以六轴光纤耦合机为实验平台,利用电子表面扫描显微镜观察了光纤耦合器的微观结构形貌,研究了熔融拉锥光纤耦合器的工艺参数、性能以及微观结构三者之间的相关规律。     

热超声键合换能系统设计及性能分析

在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计换能系统,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性;采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析。实验表明,实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12.7Ω,振动位移达到3.725μm,满足超声芯片封装的工艺要求。     

热超声键合换能系统设计及性能分析

在热超声键合系统中,超声换能系统是键合装备的核心部分。基于等效电路法和解析法设计,获得换能系统的基本结构尺寸;基于有限元方法建立系统的仿真模型,获得系统的振动模态特性：采用阻抗分析仪与Doppler测振仪对系统进行性能分析。实验表明实测频率与设计频率吻合,换能系统阻抗为12．7Ω,振动位移达到3．725μm,满足超声芯片封装的工艺要求。     

集中参数法计算机梁的模态频率比较

用集中质量法分析连续梁系统的低阶固有频率,为工程实结构中计算轴的临界转速提供可行的方法。     

蝶形光通信激光器的耦合规律与封装工艺研究

为了研究蝶形光通信激光器的耦合机理,建立了芯片-透镜-单模光纤仿真模型,以耦合理论为基础,引入了容忍度概念,分析了空间位置误差对耦合效率的影响。通过对比透镜与光纤的各个方向的容忍度大小,结合焊后偏移现象,提出了先透镜后光纤的封装顺序,并搭建了实验平台进行验证。结果表明,在对比实验中,透镜优先封装所得到的功率最高可达1800μW,而光纤优先封装最高功率仅为1200μW; 先对透镜进行封装,焊后偏移的效果要更好。该研究为蝶形器件实际封装生产提供可靠的参考。     

基于SOI的硅光波导电子束光刻工艺参数对结构的影响（英文）

电子束光刻是纳米级硅光波导制作过程的关键工艺,本文以顶层硅220 nm的SOI晶圆为衬底研究了电子束光刻的主要工艺参数—曝光剂量对显影后的PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)正性抗蚀剂结构轮廓的影响,根据测量结果分析曝光剂量与显影后结构图形宽度的关系,找到最佳曝光剂量220μC/cm2以便通过后续工艺得出与掩膜尺寸一致的最终结构。同时,依据图像分割曲线跟踪技术对剂量测试结果图进行轮廓提取处理,分析掩膜设计值和曝光剂量与边界轮廓二维粗糙度之间的关系,为后续相同衬底材料的电子束光刻提供参考意义。