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101.
CoSiN薄膜可以作为超大规模集成电路Cu布线互连材料使用。利用磁控溅射技术制备了CoSiN/Cu/CoSiN/SiO2/Si薄膜,利用四探针测试仪、薄膜测厚仪、原子力显微镜、X射线光电子能谱仪等来检测多层膜电阻率、薄膜厚度、表面形貌、元素含量及价态等。考察亚45 nm级工艺条件下CoSiN薄膜对Cu的扩散阻挡性能。实验结果表明,在氩气气氛条件下经500℃,30 min热退火处理后多层膜的电阻率和成分没有发生明显变化,CoSiN薄膜能够保持良好的铜扩散阻挡性能;经600℃,30 min热退火处理后,Cu大量出现在表面,CoSiN薄膜对Cu失去扩散阻挡性能。 相似文献
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11月5日,几位文朋诗友刚刚吃完晚饭,没有谁率先发表意见,几乎是在同一时间产生了一个共同的想法:到凤凰山上去看看。于是,大家就来了,来到了距三峡大坝垂直距离不到一公里的秭归新县城东端的凤凰山上。 初冬的天气,应该有几分凉意,白天却很燠热。此时,峡江的风迎面吹来,我们都有了冬天的感觉。我下意识地把休闲的外套紧紧,突然间静默无语。因为在我的眼前,过去曾是那样汪洋恣肆的长江,此刻正努力侧身,想从只剩下20米的导流明渠的龙口挤过去。巨大的探照灯光,在苍莽的长江上并不十分耀眼,倒显得有些惨淡,在这惨淡的光晕里,长江有些无奈,无奈得做出温顺样。…… 相似文献
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