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基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
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针对初学者在学习Access数据库中遇到的困难,设计了三个教学案例,介绍报表中计算控件的使用、if语句的语法格式和通配符“?”和“’,的使用.对于提高Access数据库的教学效果有一定的参考价值。 相似文献
33.
Snort作为开源的入侵检测系统,利用定义的静态规则集合实现对网络的入侵事件的检测。本文分析入侵检测系统的基本原理和模型,阐述Snort入侵检测系统部署到网络时,其静态规则集的配置方法,根据统计流量阈值和告警频率阈值动态产生动态规则集的方法,改进并提高了部署Snort应有的灵活性。 相似文献
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任秀英 《电脑编程技巧与维护》2012,(6):84-85,89
惯性导航装置是一种很重要且精密的设备,故障检测和诊断是设备维修的前提,综合采用现在的虚拟检测技术,对惯性导航装置的故障检测方法进行了研究,设计了虚拟检测仪的硬件设备,开发了虚拟检测仪的软件,完成了整个虚拟检测仪的设计。 相似文献
35.
任怡 《电脑编程技巧与维护》2012,(18):45-47
每届足球世界杯都会受到无数人的关注,媒体和个人都很热衷比赛结果的预测。该程序根据世界杯比赛胜负出线规则对比赛结果进行预测。 相似文献
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提出一种简单易行的低成本千兆网络协议分析实验平台的设计方案,并给出了其在实际应用中的价值。系统已在高校实验室中得到了应用,取得了良好的效果。 相似文献
37.
在综述目前广泛研究的智能终端模式的基础上,提出了一种新的基于智能终端和面向服务体系结构的移动MIS基础平台。该平台基于智能客户端技术和元数据业务模型,可以实现移动公办与后台管理信息系统的结合。详细阐述了移动MIS基础平台的设计、实现及其优点。 相似文献
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任雪莲 《电脑编程技巧与维护》2012,(8):135-136
根据《Flash动画制作》课程在教学实践中的特点,提出构建"理实同步,实例引导,任务驱动"的教学模式,在教学内容、教学方法等方面进行教学改革,并阐述了在Flash教学中的具体实施方法,提高了学生动手能力及综合素质。 相似文献
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