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离子能流密度对类金刚石薄膜成膜的影响 总被引:3,自引:0,他引:3
着重讨论了离子轰击能量影响类金刚石薄膜成膜过程的机理,特别引入了离子能流密度即在单位时间内成膜表面的单位面积上接收到的离子轰击能量的概念,这就能更加正确地解释离子轰击在成膜过程中所起的作用。采用了具有特色的等离子体分解碳氢化合物结合高能离子轰击基片的方法制备类刚石薄膜。这种兼有PVD和CVD各自优点的PCVD方法,能独立地分别调节轰击基片的离子能量和离子流密度。实验结果表明,存在一个离子能流密度的 相似文献
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严学俭 《功能材料与器件学报》2001,7(3):297-302
介绍一种TiC/i-C双层复合硬质薄膜,该复合膜由碳化钛(TiC)膜层和i-C(离子辅助沉积)无定形硬质碳膜组成。采用反应磁控溅射的方法沉积碳化钛(TiC)膜层。随后在维持镀膜系统真空度的情况下,利用等离子体分解结合高能离子轰击的方法不间断地连续制备i-C类金刚石薄膜,TiC膜层对金属基片和表面i-C膜层都有良好的附着与结合强度,因此被用作中间过渡层,而表面i-C膜层则保持了DLC薄膜硬度高和摩擦系数小等优良的性能。对TiC/i-C复合膜的机械性能和摩擦学行为的测试显示该复合膜具有非常高的显微硬度及优良的摩擦学特性,诸如很高的抗附着磨损、磨耗磨损、划痕磨损的性能及很低的摩擦系数。与TiC单层膜与DLC单层膜比较,显示该TiC/i-C复合膜更能适合实际应用的需要,在国民经济中将有广阔的应用前景。 相似文献