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激光退火工艺可以有效修复离子注入破坏的晶格结构,获得比传统退火方式更好的离子激活效率和激活深度,且不损伤Taiko硅片的正面器件,从而在FS-IGBT器件的制造过程中得到业界的广泛关注和应用。针对FS-IGBT激光退火工艺的特点,通过对退火深度、激光波长、光斑尺寸,以及Taiko薄片传输等技术的深入分析和数值仿真,完成了SLA500激光退火设备的研制,并通过现场测试数据验证。测试结果表明,SLA500激光退火设备的各项关键技术指标,如退火深度、激活效率、RS均匀性和重复性等,均能满足FS-IGBT激光退火工艺的量产应用。 相似文献
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室内分布系统在提高覆盖质量和客户忠诚度方面有重要作用,加强CDMA网络室内覆盖(特别是价值区域)将大大有助于重构CDMA网络竞争优势和品牌形象。 相似文献
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一类纯滞后系统的新型神经元控制器 总被引:2,自引:0,他引:2
本文针对一类带有纯滞后的系统,提出一种新的复合智能控制算法--神经元-Smith预估控制(NSC),该控制算法不依赖于精确的对象数学模型,算法简单,具有自学习、自组织的能力,能实现在线控制。仿真和实验结果表明,这种控制方式具有较强的适应性和鲁棒性。 相似文献
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对我国证券市场的月交替效应进行了检验,通过实证研究发现我国证券市场并不存在西方证券市场普遍存在的月交替效应,即每个月的前4个交易日和上个月的最后一个交易日的平均收益率高于其他交易日的平均收益率。我国的月交替效应是每个月的前6个交易日和上个月的最后一个交易日的平均收益率高于其他交易日的平均收益率。我国证券市场月初效应产生的主要原因是机构投资者选择在月末拉高所持股票的价格、上市公司和监管机构在月末披露信息和出台政策以及市场反应具有滞后性。 相似文献
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