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设计并制作了一种结构新颖的镜面尺寸为6mm×4mm的电磁驱动MEMS光学扫描镜.这种背面为微型铜驱动线圈的MEMS硅基扭转镜面沉浸在由包含永磁体的磁回路产生的磁场中,当电流信号通过驱动线圈时,MEMS光学扫描镜绕着扭转梁发生了大角度的扫描运动.采用MEMS体硅加工工艺和电镀技术制作的器件显示出了优良的性能,实验获得的扫描镜静态转角斜率为0.03°/mA,当器件进行动态扫描时,在381Hz的谐振频率下获得了最大±10.2°的光学扭转角度,空气中的Q因子为221,相应的功耗为13μW,与此同时MEMS光学扫描镜具备了出色的镜面粗糙度、光学反射率和镜面平整度.实验证明该器件完全适合于微型光谱仪和可调光滤波器的应用. 相似文献
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文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计.采用体硅加工工艺,利用SOI材料30 μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计.该种形式的加速度计不需要真空封装,也不需要制作阻尼孔就能满足低噪声要求.器件采用三层材料,利用硅-玻璃键合和BCB键合实现,能够有效提高成品率,并给出了成功流片后得到的SEM照片.最后,对器件进行了频谱响应曲线的测试,测试得到器件在非真空封装及无阻尼孔情况下Q值高达156.95.测试结果表明该器件的设计简化了制造工艺,降低了成本,同时得到提高了Q值,能够降低热机械噪声. 相似文献
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为研究高炉死料柱焦炭宏观性能与微观结构之间的关系,采用工业分析、气孔结构分析、BET检测、XRD检测与SEM观测等手段,对采样自西昌某钒钛高炉停炉实验的死料柱焦炭样品与该厂日常生产使用的入料样品进行对比分析。发现死料柱焦炭相对于对照的入料焦炭在微晶结构、气孔结构、矿物分布等方面具有显著的差异,主要表现为死料柱焦炭中灰分含量增加,超大气孔(孔径大于1 000μm2)数量增多,微孔(孔径0~50nm)与介孔(孔径50~300nm)数量增多,微晶尺寸增大了约4倍。除此之外,死料柱焦炭外部气孔还吸附着大量渣铁矿物,矿物以镁黄长石、钙钛矿、铁碳化合物为主。说明焦炭在下降至死料柱区域且长时间停留后,其气孔率增加,石墨化程度也有所增加。 相似文献
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基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计 总被引:1,自引:1,他引:1
光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果,并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明:温度补偿后,温度变化±50K时测试误差为0.2%,400A、2000A电流下的灵敏度分别为0.001dB/A 与0.09dB/A, 说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。 相似文献