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71.
近年来我国城市生活用水量呈逐年递增趋势,而水源水质却呈逐年递减趋势。这无疑给给水处理和污水处理带来沉重的负担。因此我们应充分在节水上做文章。特别是城市生活用水,损耗相当惊人。城市生活用水绝大部分是在建筑内完成的,因此要节约城市生活用水必须在建筑给排水中挖掘节水技术。 相似文献
72.
73.
对Si/Glass激光键合进行了有限元仿真,自主设计激光键合系统并进行了Si/Glass激光键合实验研究、测试与表征。以Si/Glass激光键合的二维传热解析模型为理论基础,应用有限元软件ANSYS仿真了激光功率20~48W时激光键合的三维温度场、键合熔融深度,并预测键合阈值功率为28 W。自主设计激光键合系统及实验方案,采用光斑直径150μm、功率30W的Nd:YAG连续激光实现了Si/Glass的良好激光键合。测试结果表明,激光键合强度最高为阳极键合的5.2倍,激光键合腔体气密性测试泄漏率平均值约9.29×10-9 Pa.m3/s,与阳极键合处于同一数量级。采用能谱分析(EDS)线扫描Si/Glass激光键合的界面材料成分,发现键合界面形成过渡层,激光功率30W时过渡层厚度9μm,与仿真结果吻合。 相似文献
74.
微型光纤磁传感器的设计与制作 总被引:2,自引:1,他引:2
提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测.该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成.文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数.利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5mm.对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合.测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT.将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励. 相似文献
75.
提出了一种新颖的基于三维掩膜的硅各向异性腐蚀工艺,即利用深反应离子刻蚀、湿法腐蚀等常规体硅刻蚀工艺和氧化、化学气相沉积(CVD)等薄膜工艺制作出具有三维结构的氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜,以该三维薄膜作为掩膜进行各向异性腐蚀,该工艺可以应用于MEMS微悬空结构的制作。利用该工艺成功地在单片n-Si(100)衬底上完成了一种十字梁结构的释放,并对腐蚀的过程和工艺参数进行了研究。 相似文献
76.
<正> 随着Internet的高速发展,人们对使用方便、价格低廉的上网工具的需求也越来越迫切。信息电器正是满足了人们这种需求的一种上网工具,它是家用电器与个人计算机(PC)的融合,是信息时代的必然产物。它顺应了计算机的微型化和专业化的发展,也表明了3C(计算机、通信、消费电子)融合的趋势。 相似文献
77.
78.
本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器.这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉.通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A~2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内. 相似文献
79.
80.
大隆水利枢纽项目工程是海南省近年来规模最大、投资最多、国家支持力度最大的大型水利项目,自2004年12月主体工程开工以来,工程施工进展迅速,工程质量也经受住了考验。在抗击台风“达维”和热带风暴“天鹰”的过程中,水库提前发挥了抗洪抗灾功能,为保障几万人民群众的生命财产安全起到了关键作用。 相似文献