CMP综合终点检测研究

在对电机电流终点检测、光学终点检测以及抛光垫温度检测三种终点检测技术的检测原理、特点及其装置分析讨论的基础上,对终点检测硬件电路的设计效果进行了验证。采用STRASBAUGH的Nvision软件进行移植,设置其增益、漂移量、数字过滤器的频率和类型。以W作为抛光对象,以TiN作为阻挡层,优化了工艺参数菜单设置并实施抛光,在实时形成信号曲线的基础上,由主机综合三种终点检测信号的情况,判断出精准的终点位置,为CMP抛光终点的监测和抛光垫的修整和更换提供科学的依据。     

CMP中铜的碟形缺陷的研究

具体分析了铜的碟形缺陷并非由于抛光垫的弯曲造成,但是与抛光垫的表面形态有关,在此基础上,分析了铜CMP的作用机制,初步定性指出造成铜的碟形缺陷的原因,并对缺陷进行建模。比较了铜的碟形缺陷的电阻实际测量值和理论计算值,发现带碟形缺陷的电阻均大于理论值,并且随着铜的线宽增大,碟形缺陷也呈增大趋势。详细比较了选择性抛光液和非选择性抛光液对碟形缺陷的作用,从理论和测绘图形上证明选择性抛光液是造成碟形缺陷重要因素之一。采用了综合的工艺实验,最后得出抛光垫的种类及选择性抛光液在过抛光的情况下,是造成铜碟形缺陷的主要因素。     

Si、Na掺杂W基高比重合金液相烧结过程中的界面反应

对不同Si、Na掺杂量的W－（Ni,Fe）高比重合金进行了扫描电镜、透射电镜、X射线光电子能谱（XPS）及俄歇能谱（AES）分析,探讨了Si、Na掺杂在W－（Ni,Fe）及W－W界面所发生的反应,以及此类反应对合金显微结构所产生的影响。研究发现,Si、Na掺杂使合金出现孔隙并在W－（Ni,Fe）界面出现层状SiO₂夹杂相,SiO₂与液相Ni、Fe的低润湿性以及Na的挥发性是造成这种影响的根本原因。     

旋锻对钴、锰微合金化93W合金性能和组织的影响

测试了Co、Mn微合金化钨合金经10%面缩率旋锻后的力学性能。用S-250型扫描电镜和H-800型透射电镜对合金的组织、断口及薄膜试样进行了分析,发现形变大大提高了合金强度并在粘结相中产生大量位错。     

一种TDM／TDMA点地多点系统时钟同步方法

针对TDM/TDMA点对多点系统传输信号特点,提出了一种系统时钟同步方法,介绍了电路的组成及原理。该方法能有效地抑制多级中继时系统的时钟抖动,提高TDM/TDMA通信系统的传输性能。     

超宽带引信脉冲发生器设计

针对基于射频三极管、阶跃恢复二极管的脉冲源产生的超宽带信号幅度较小、作用距离短,而基于雪崩三级管的脉冲源需要体积较大的电压源等问题,设计了一种基于雪崩三极管的小型化超宽带脉冲源来产生大幅值的超宽带信号,该电路用逆变电路将干电池电压升至所需电压,加至雪崩管集电极产生雪崩效应,输出纳秒级窄脉冲。用示波器测试实际电路产生信号,脉冲宽度约为500ps,幅值约10V。该电路有效地提高了信号幅值,进而提升引信作用距离,且占用空间很小。     

LJP型合成高分子防水涂料

我国的屋面防水涂料,大多数为高分子改性沥青乳液,涂膜为黑色或深色,不仅不美观,在盛夏吸热量大,增加了顶屋室内温度。另外,这类防水涂料的最大弱点,耐天侯老化性能差,即使是氯丁橡胶性沥青产品,其涂膜抗老化性能也不理想,近几年来,出现的聚氨酯防水涂料,虽然耐天候老化相对有所提高,但施工时要求屋面基层含湿量低(<7％以下).在潮湿环境中使用时往往受一定的限制。此外,该涂料含有机溶剂在施工过程中对环境有一定影响。鉴于上述情况,我厂以聚乙烯结构的衍生物,经化学反应后所得产物为主体原料,研制成功LJP型     

YT调速器故障处理一例

位于漳河上的张头水电站装机容量980kW,安装4台轴流定桨式水轮发电机组,其中3台机组额定出力均为160kW;4号机组额定出力为500kW,配用YT-600机械液压型调速器。在运行过程中,因该调速器出现故障不能自动或液压手动控制机组,被迫由人力手动开启或关闭导水机构来调整机