利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演

薄层电阻是IC生产过程中在线工艺监控测试的项目之一,其中经常使用范德堡法和Rymaszewski法作为普通四探针法的补充方法.应用这两种测试方法时必须要用到范德堡函数,而已知的范德堡公式是隐函数,只见报道其显函数的近似表达式,精度低,未见到有精确的多项式拟合公式.为此,本文利用非线性反演和规范化拟合的办法给出了范德堡函数的多项式形式,其精度可达到±0 19% ,并给出该公式在实际薄层电阻测试中的应用     

传感器与固体电子学中非线性函数多项式拟合的规范化

多项式可用于非线性信号的拟合,关键在于求解其各项系数。对于任何非线性函数,文中提出都有一个规范化的拟合方法。相应有一个规范化的多项式。该规范化多项式是以整数n为底的幂级数,最大幂次nmax是x坐标区间的等分数,其系数可用一个规范化的矩阵积得到。我们给出了固体电子学中的两个应用实例。当x坐标区间分段拟合应用时,还讨论了函数及其导数计算值的连续性条件,并以正弦函数不同区间的展开为例,作了演示。     

无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位

研制出检测U L SI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形10 0 m m样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.     

压力传感器芯片版图设计中若干重要问题（2）

４二极管与三极管的设计［９,１５］压力传感器中除力敏电桥外往往有补偿电路,桥输出信号放大电路以及测温电路,甚至集成电路等等,不可避免地涉及二极管及三极管的设计。晶体管的设计和其它任何设计一样,都有其设计的前提（已知的或规定的工作条件）以及设计的原则。...     

图像识别在四探针测试技术中的应用

本文介绍了在斜置式方形探针测试系统中,如何应用图像识别技术来判定探针在微区的位置,进而控制步进电机,使探针自动定位成方形结构,从而保证测试的准确性,并对测试结构对测试结果的影响,进行了初步论述.     

TiO2系湿敏元件研究和进展

TiO2化学性质稳定,感湿性能优良,来源广泛,价格低廉,因而TiO2系湿敏元件得到了广泛的研究和应用,是一类十分有前途的湿敏材料.本文综述了TiO2系湿敏元件的研究和进展,详细介绍了几种TiO2系湿敏元件的材料配方,制备工艺,元件型式及湿敏性能.     

基于Matlab软件实现传感器压力值解析算法

提出了基于Matlab软件得到压力值解析表达式中各多项式的系数，十分简便，可用于压力传感器的智能化。利用热零点漂移的非抛物线实验曲线，得到压力值的完整多项式，实现了解析算法。对热零点抛物线关系的成因作了讨论，认为：除了力敏电阻的非线性外，还应考虑在40—120℃时的反向漏电问题。     

一种新型的气敏传感器测量装置

介绍了一种新型、高精度的智能气体体积分数测量设备。该设备将ARM7应用到电路中,利用其强大的数据计算处理能力及控制能力,设计出了显示气体体积分数值的测试电路。传感器输出的电信号采用归十法与多项式拟合相结合的方法进行转换,有效地校正传感器的非线性,提高测量的精度。通过C语言编程实现该算法,经测试,该装置的精度误差保持在±1．5％,能够准确地对环境中的气体进行监控,并具有到限报警功能。     

基于数据无线传输技术的扭矩传感器系统

提出了一种扭矩传感器数据无线传输系统,介绍了硬件结构设计及软件系统工作流程.该系统解决了传统应变式传感器因现场连线众多而带来的不便,并消除了各种隐患,适合于需要利用无线数据传输的区域.通过测试表明：系统具有应用灵活可靠,抗干扰能力强等特点.     

基于ARM的高阻气敏传感器测试电路

将ARM7应用到气敏传感器中,利用其强大的数据计算处理能力及控制能力,结合气敏薄膜材料的高阻值特点,设计出了显示气敏元件阻值及其所处气体浓度的测试电路。该电路以LPC2131实时监测电源电压,自动调整占空比,实现对温度的准确控制,并测量气敏薄膜的电阻。经气体浓度和元件阻值的校准后,电路可显示被测气体浓度,同时提供一个友好的用户界面,并具备报警功能,实现了智能气敏传感器的测量电路。完全满足气敏测试需要,电阻的测量精度达到±0.2%。