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设计出一种能与体硅标准低压 CMOS工艺完全兼容的新型凹源 HV-NMOS( High voltage NMOS)结构 ,在 TSUPREM-4工艺模拟的基础上提出了该结构具体的工艺流程及最佳的工艺参数 ,通过 MEDICI进行特性模拟得到了该结构的电流 -电压和击穿等特性曲线 ,击穿电压比传统 HV-NMOS提高了 3 7.5 %。同时分析了凹源结构、p阱、缓冲层 ( Buffer层 )及场极板对改善 HV-NMOS工作特性的有效作用 ,最后给出了该凹源 HV-NMOS的流水实验测试结果。 相似文献
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The ESD response characteristic in a p-type symmetric lateral DMOS (ps-LDMOS) has been investigated. The experimental results show that the ps-LDMOS has weak ESD robustness due to an absence of the "snapback" characteristic. In addition, the location of the hot spot changes little for the special device. The method for reducing the lattice temperature of the hot spot can be used to enhance the ESD capacity of the ps-LDMOS, thereby, a novel and easily-achievable ps-LDMOS structure with a p-type lightly doped drain (p-LDD) has been proposed. The special region p-LDD lowers the electric field at the edge of the poly gate, making the whole dis- tribution of the surface electric field more uniform. Therefore, the ESD robustness is improved two times and no obvious change of other electric parameters is introduced. 相似文献
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针对钝化层质量对高压VDMOS器件可靠性的影响做了研究。通过流片生产中的产品遇到的实际问题,分析了高压VDMOS器件的钝化层可能存在的离子或者受热应力对器件可靠性的不良影响,并在实际工艺和芯片设计上作出了相应的改进,流片验证可靠性得到了有效的改善。 相似文献
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