硅尖的制备

隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分 ,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究 ,得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖     

硅尖的制备

隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分，通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究，得到了合适的工艺条件以及较理想的硅尖。     

Chlorine gas sensors using hybrid organic semiconductors of PANI/ZnPcCl16

PANI/ZnPcCl_(16)(polyaniline doped with sulfosalicylic acid/hexadecachloro zinc phthalocyanine) powders were vacuum co-deposited onto Si substrates,where Pt interdigitated electrodes were made by micromachining.The PANI/ZnPcCl_(16) films were characterized and analyzed by SEM,and the influencing factors on its intrinsic performance were analyzed and sensitivities of the sensors were investigated by exposure to chlorine(Cl_2) gas.The results showed that powders prepared with a stoichiometric ratio of(ZnPc...     

结构分析有限元系统与神经网络

从系统的稳定过程网络结构,计算实质等方面详细地分析有限元计算与神经网络的关系,指出结构分析有限元系统与神经网络系统在上述各方面是完全等价的可用适当的神经网络表达具体的力学问题,并加以分析有计算,最后,针对神经网络应用于不同力学问题时有限元计算的具体问题进行讨论。     

基于隧道效应振动梁式陀螺仪自检电极设计

在微机电系统内建立自检系统是提高系统运行可靠性、安全性的重要手段之一。陀螺仪中的Coriolis力和其他惯性力存在一定的差别,即使在恒定的角速度输入下,Coriolis力也是一种动态变化的力。通过一对平板电极,其中,一个平板电极的边缘按照一定的函数变化,当陀螺仪的悬臂梁振动时,其平板间的静电力的变化能很好地模拟陀螺仪中的Coriolis力,有限元分析结果也表明:应用该方法完全能实现陀螺的自检和测试。     

超声技术在硅湿法腐蚀中的应用

为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面,在硅湿法腐蚀中引入超声技术.对超声湿法腐蚀系统进行了改进,以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0.5 ℃之内.采用60 ℃,10 %质量分数的KOH溶液,在超声频率为59 kHz,超声功率为60～180 W(间隔10 W)条件下对(100)硅片进行湿法腐蚀.最后,运用激光共聚焦扫描显微镜(LSCM)对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量,并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响.实验结果表明:超声功率在120 W时,可以获得平滑的腐蚀表面,表面粗糙度Rq值为0.020 μm.在湿法腐蚀系统中采用超声技术,可以明显改善腐蚀表面质量,在较低温度和较低浓度的KOH溶液中,选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面.     

探针阵列诱导构建三维电纺纳米纤维结构分析(英文)

三维纳米纤维结构具有超高比表面积、可控孔径和孔密度,潜在应用非常广泛.以高度和位置可调的探针阵列为静电纺丝收集器,同时探针阵列通过控制开关与辅助电压相接,通过改变各探针高度、探针间距和与辅助电压的导通状态,制备所需的三维纳米纤维结构.初步实验结果表明,最大/最小探针间距随着电压的增大而减小,而随喷头与收集器间距的增大而增大.同时,增大探针高度差或减小喷头与收集器间距/探针间距将导致辅助电压变大.     

聚苯胺/十六氯酞菁锌杂化有机半导体氯气传感器的研究

本文采用微加工技术在硅片上制作了铂金叉指电极,通过真空共蒸发沉积制备了聚苯胺/十六氯酞菁锌气敏薄膜,借助SEM对沉积膜进行了表征分析,并分析了氯气作用下影响该薄膜自身性能的相关因素,同时也对该传感器进行了气敏性能测试。实验结果表明：当聚苯胺与十六氯酞菁锌化学计量比为2：3时,薄膜对氯气有很好的敏感特性;最佳的蒸发沉积条件为基片温度160 ℃、蒸发温度425 ℃、薄膜厚度75 nm;提高工作温度(100 ℃以上)或增加气体浓度(100 ppm以上),均可以提高响应特性,但二者都将存在一个上限值。最后,我们也对该气敏薄膜的敏感机理进行了讨论。     

喷印柔性压力传感器试验研究

柔性压力传感器是智能机器人和生物医疗等典型应用领域中的关键部件。针对10～50 kPa中等压力下对柔性压力传感器的高灵敏度、良好压力分辨率和快速响应需求,提出在PDMS基底上直写喷印石墨烯纳米片(GNPs)/多壁碳纳米管(MWCNT)构建S型折线图案化敏感单元,结合封装层微结构阵列,制备中压高灵敏度、低检测限的柔性压力传感器。试验结果表明,在压力为0～15 kPa和15～40 kPa的条件下,该传感器灵敏度分别为0.114 kPa–1和1.41 kPa–1,响应/恢复速度快(约100 ms/50ms)。同时,其也可检测低至约3Pa的微小压力。同时,该传感器更是能对不同发声进行准确的区分识别,对不同的指压信号进行精确稳定反馈。可见,喷印制造柔性压力传感器将为语音识别、人工假肢、制备高性能电子皮肤和医疗康复器件等提供可能的优选方案。     

超细电纺纳米纤维的直接制备(英文)

采用装配有疏水铜网的新型喷头研究了超细纳米纤维的制备.静电纺丝实现之前,首先对铜网进行了疏水处理,并将其安装于喷头前端.静电纺丝过程中,聚合物溶液由精密注射泵输送至喷头处.安装于喷头的铜网可将管道内的聚合物溶液分成多股细流从铜网网孔中流出.从铜网网孔流出的溶液细流受电场力作用被拉伸成多股独立射流,并从喷头携带走聚集的正电荷.受铜网表面疏水性和射流间电荷排斥力的影响,从铜网喷射出的多股射流都将保持其独立的轨迹而不会产生聚集.疏水铜网有利于减小纺丝射流的初始直径,并获得均匀的超细纳米纤维.利用新型的电纺丝喷头成功制备了直径20～80 nm的聚氧化乙烯(PEO)和聚乙烯醇(PVA)超细纳米纤维.实验结果表明,超细纳米纤维的直径随着电纺丝溶液浓度的增加而变大.