直线驱动磁悬浮进给机构的研究

分析了传统机械进给机构的特点,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构,此机构采用直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力。这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦、弹性变形、滞后和非线性误差,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向。针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机的结构,并对直线电机产生的磁力进行分析计算。直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要。     

磁悬浮微进给机构研究

导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度 ,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求。磁悬浮技术应用于微进给机构 ,可消除摩擦。结合直线电机能实现零传动的特点 ,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构 ,分析了它们的特点 ,阐明了进一步改善的方向。理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在± 1 μm内 ,在水平方向能实现亚微米级进给精度     

六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究

设计了“H”型六维x-y工件台，利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上，消除了导轨的摩擦和磨损；直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位；控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小，可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦。计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差，理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0．1μm调焦精度和3．0μrad调平精度的要求。将应用于特征尺寸0．18μm线宽激光光刻机上。     

绣球菌子实体干燥条件与多糖保留率相关性研究

为获得绣球菇子实体的最佳干燥工艺条件,选择低温干燥、微波干燥、冷冻真空干燥和高温干燥4种方法,探讨干燥方法、干燥温度、干燥时间对绣球菇子实体多糖及水分含量的影响。结果表示:低温干燥法最佳条件:50℃恒温干燥1.5h,多糖保存为6.18g/100g,含水量低至9.5%;微波干燥法最佳条件:中火6min多糖保存率3.78g/100g,含水量低至8.5%;冷冻真空干燥法:多糖保存达34.80g/100g,含水量低至2.66%;高温干燥法最佳条件:100℃干燥30min,多糖含量6.05g/100g,含水9.2%。其中,冷冻真空干燥多糖的保存率最高,含水量最低。     

密封继电器弹簧片压力的激光校正研究

针对某型号密封继电器弹簧片压力的精确校正难题,应用激光技术进行金属非接触校正的研究,并进行了相关的测试试验.试验结果表明:激光校正方法用于弹簧片压力的精确校正是可行的,但发射激光束的总能量E不能超过0.3 J,否则,激光束会将弹簧片击穿.当激光能量E一定时,设定的激光功率P越大、,照射时间t越短,弹簧片获得的压力校正值Δp则越大,且Δp的大小还与激光照射在弹簧片上的位置有关.在P=80 W、t=3 ms试验条件下,当压力测量点与激光照射点之间的距离x相似文献   

包钢二氧化硫排放现状及控制措施

随着经济的快速发展,二氧化硫已成为大气污染中量最大、影响面最广的一种气态污染物。本文详细阐述了包钢二氧化硫的来源及排放情况,并提出相应的控制措施。     

用超声波CT检测深桩基础压浆的分布与成形

本文分析了在苏通长江大桥用超声波CT检测桩底压浆效果的实验研究和工程检测的过程与主要结果。理论和检验实践表明,超声波CT技术检测桩底压浆效果是可行的。在试验桩检测中解决了多项关键技术问题,检测结果显示了压入水泥浆分布范围的图像。结合试验桩其它检验结果,认为桩底压浆可以在桩底形成扩大头,提高桩的侧向摩擦阻力和桩端承载力,从而有效提高桩基础总体的承载力,这一结论支持了在苏通大桥应用桩底压浆技术的决策。实际工程桩检验结果证实了试验桩的判断,观测到水泥浆在桩底沿中粗砂层流动形成的加固层,达到了满意的成形效果。