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根据键合过程和半导体中杂质扩散的规律建立了硅片直接键合工艺的数学模型,得到了键合后硅片中杂质的浓度分布.并利用MATLAB软件,编写了键合工艺模拟程序,计算结果与实验进行了比较.该模型可以为相关器件的研究提供参考. 相似文献
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根据硅各向异性腐蚀特点,在硅各向异性腐蚀速率图基础上,提出算法,利用数学软件MATLAB模拟了几种简单掩膜图形的腐蚀过程.程序从二维掩膜描述出发,找到相关晶面,产生动态的三维几何结构的输出.并推导出凸角补偿时补偿条的相关尺寸.其结果对MEMS加工有一定参考价值. 相似文献
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文章主要研究了二硫代氨基甲酸酯衍生物的合成,将脂肪胺,CS2与α,β-不饱和羰基化合物或卤代烃在无溶剂无催化剂室温条件下,"一锅法"进行了Michael-type的加成反应,合成了二硫代氨基甲酸酯衍生物,该方法产率高,操作简单,是一种原子经济的合成方法,并可大规模的用于制药及农药方面。 相似文献
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以纯铜片为基材,利用复合电镀法制得具有疏水性的Cu-PTFE(聚四氟乙烯)复合电极,并用作阴极应用于香兰素电还原制备香草醇。实验中分别测定了香兰素乙醇水溶液中Cu-PTFE复合电极的循环伏安、交流阻抗和Tafel极化曲线等电化学参数。结果表明,香兰素电还原制备香草醇的转化率为87.23%,电流效率为43.62%。通过对电化学行为研究的结果进行推测,香兰素在Cu-PTFE复合电极上的电极反应可能受到电子传递控制,可用RS(CCQ(CdlRct)RC)等效电路模拟复合电极/溶液界面的电化学行为。 相似文献