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用于铜的化学机械抛光液的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
文中介绍了一种以碱性抛光液对铜进行全局平面化的方法 ,讨论了以 Si O2 水溶胶为磨料的抛光液在Cu-CMP过程中的化学 (络合 )作用及反应机理 ,并给出了抛光液的配比及上机实验结果。结果表明 :该抛光液用于对带有阻挡层和介质层的铜抛光 ,达到了对铜层的高去除速率和高选择比 ,取得了较好的全局平面化效果 相似文献
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采用 Conform 法连续挤压铝管是英国原子能管理局“斯普临匪尔德”先进金属成型小组于1971年发明,1975年首次论证的。用金属棒料或碎料进行无润滑连续挤压实心、空心制品的基本原理示于图1、图2。 相似文献
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小地瓜 《数字社区&智能家居》2007,(4):105-105
随着自己QQ好友的不断增多,可能有很多朋友的网友数量已经到500人上限,并且QQ会员等级也已到了VIP 4,但却并未享受拥有千人的待遇。其实主要原因是未开通K级好友的功能,这里你只要打开浏览器,进入到http://vip.qq.com页面,并且登录自己达到VIP 4等级的QQ号码后, 相似文献
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用单片机产生有限带宽伪随机信号 总被引:3,自引:0,他引:3
由线性反馈移位寄存器产生出周期为p=2^11-1的伪随机白噪声,利用快速傅里叶变换及其逆变换去除了其中低于350Hz和高于550Hz的分量,获得带宽在350-550Hz之间的伪随机信号。 相似文献
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《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》报导广东省邮电科学研究所于1994年10月10~15日在深圳市主持召开了《PTC技术交流会暨通信设备过电流保护用PTC热敏电阻行业标准预审会》,会议收到论文9篇,国内外专家及相关人... 相似文献
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自从索爱在年初推出了蓝色精灵T102之后,随即挂起了一阵蓝色旋风,索爱T102小巧可爱,深受索爱的FANS的喜爱,尤其是美眉们对T102更是情有独衷,于是乎,在我苦研了几个星期的T102之后,终于发现了一些所谓的技巧,兴奋之余,特将这些小技巧拿出来与大家分享。 相似文献