自吸式气体支承静特性的研究

<正> 绪 言 气体静压支承采用 粘度较小的气体作为润 滑剂,具有以下几方面 的特点:(1)摩擦阻 力小,运动速度快; (2)运转平滑、精度高, 低速运动无爬行;(3)耐高、低温性能好,适应环境能力强;(4)正常工作时,磨损小、寿命长;(5)清洁度高。且气体可由支承排入大气,不污染环     

控制静压轴承间隙实现精密定位机构的研制(研制报告之一)

1.前言对磨床来说,精密切入机构的定位精度是决定加工精度的重要因素。可是在以往的机械式定位机构中,由于产生弹性变形和爬行等现象,很难得到0.1μm量级的精密进给和定位精度。本报告是研究用控制轴承间隙来实现具有高精度和高刚度的精密定位、微进给机构的。     

精密工作台气体静压轴承的有限元分析

一、引言气体静压轴承由于采用粘度较小的气体作为润滑剂,因而具有摩擦阻力小,运动速度快,精度高,无爬行等特点。而且,气体可由支承排入大气,不污染环境和光电器件,不必采用专门的密封装置,适用于大规模集成电路制造中的工艺条件,所以是图形发生器,光刻机,铭版机,     

控制静压轴承间隙实现精密定位机构的特性(研制报告之二)

1.前言前篇论文讨论了应用控制静压轴承间隙实现精密定位机构的原理和基本数据。本文再讨论控制系统的设计、精密定位特性、运动精度、动态特性及稳定性。