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以AZl500光刻胶为例,将氧气作为工作气体的反应离子束刻蚀工艺用于光刻胶图形的灰化处理,以去除经紫外曝光-显影后光栅中的残余光刻胶。研究结果表明灰化速率有随束流密度呈线性增加的趋势。经过反应离子束刻蚀后,光栅槽底残余光刻胶被去除干净,同时线条的宽度变细,在一定程度上达到修正光刻胶光栅线条占空比的目的。用原子力显微镜检测,无光刻胶的K9基片表面在灰化工艺前后其粗糙度无明显变化。该工艺具有良好的可控性,解决了在厚基片上制作大口径衍射光学元件时残余光刻胶的去除问题。 相似文献
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循环流化床锅炉计算机监控系统研究 总被引:2,自引:1,他引:1
通过分析流化床锅炉特点,结合解耦广义预测控制和多变量参数估计原理,设计了解耦广义预测控制器,对主蒸汽压力和床温控制回路进行解耦协调控制。在此基础上,设计了一套适合于循环流化床锅炉使用的计算机监控系统。 相似文献
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现场总线控制技术在电厂中的应用研究 总被引:3,自引:0,他引:3
分析了现场总线控制系统的结构和技术特点。与现行的DCS相比,FCS最显著的特征 是开放性、分散性和数字通信,可节省硬件数量与投资、节省控制电缆和安装维护费用。给 用户高度的系统集成主动权,并提高系统的精度和可靠性。 相似文献
116.
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循环流化床锅炉动态数学模型与仿真研究 总被引:13,自引:8,他引:5
循环流化床锅炉是一个分布参数,非线性、时变、多变量紧密耦合的对象,文中对其建立了动态数学模型,仿真了在参数变动下锅炉的动态特性,针对-35t/h循环流化床锅炉进行了动态仿真计算,仿真了给煤量与送风量降低及突然断煤事故,计算结果表明所建立的模型可以准确反映所仿真锅炉的动态特性。 相似文献
118.
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