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61.
黎明  张海英  徐静波  付晓君 《半导体学报》2008,29(12):2331-2334
利用电子束光刻技术制备了200nm栅长GaAs基T型栅InAlAs/InGaAs MHEMT 器件.该GaAs基MHEMT器件具有优越的直流、高频和功率性能,跨导、饱和漏电流密度、阈值电压、电流增益截止频率和最大振荡频率分别达到510mS/mm, 605mA/mm, -1.8V, 138GHz 和78GHz. 在8GHz下,输入功率为-0.88(2.11)dBm时,输出功率、增益、PAE、输出功率密度分别为14.05(13.79)dBm,14.9(11.68)dB,67.74 (75.1)%,254(239)mW/mm,为进一步研究高性能GaAs基MHEMT功率器件奠定了基础.  相似文献   
62.
氧化锌纳米线晶体管的电学特性研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
付晓君  张海英  徐静波 《半导体技术》2011,36(10):778-781,785
成功制作了氧化锌纳米线沟道场效应晶体管器件,所制作器件的电学性能通过I-V测试进行了分析。使用了水浴法生长了单晶性完整的氧化锌纳米线,该纳米线被用作背栅场效应晶体管的沟道,采用光刻方式制备的器件具有良好的直流特性,进行退火后进一步改善器件的源漏接触,提高器件性能,最终制备成功的场效应晶体管显示出p型MOS的特性,其开关态电流比达到105。在Vds=2.5 V时,跨导峰值为0.4μS,栅氧电容约为0.9 fF,器件夹断电压Vth为0.6 V,沟道迁移率约为87.1 cm2/V.s,计算得到氧化锌纳米线载流子浓度ne=6.8×108 cm-3。在Vgs=0 V时,器件沟道电阻率为100Ω.cm。  相似文献   
63.
GaAs基E/D PHEMT技术单片集成微波开关及其逻辑控制电路   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用GaAs基 E/D PHEMT 技术单片集成微波开关及其逻辑控制电路的制作工艺和设计方法,采用0.8μm GaAs E/D PHEMT工艺,制备出性能良好的解码器功能内置的DC~10GHz SPDT MMIC,基本实现逻辑电路与开关电路的集成. 开关电路在DC~10GHz内插入损耗小于1.6dB,隔离度大于24dB;整个电路只需要1位控制信号,有效地减少了开关电路的控制端口数目,节省了芯片面积,为GaAs多功能电路的研究奠定了基础.  相似文献   
64.
利用MBE外延材料和接触式光学光刻方式,成功制备出1.0μm栅长GaAs基MHEMT器件,分别蒸发Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au作为栅电极金属.获得了优越的DC和RF性能,Pt/Ti/Pt/Au和Ti/Pt/Au MHEMT器件的gm为502(503)mS/mm,JDss为382(530)mA/mm,VT为0.1(-0.5)V,fT和fmax分别为13.4(14.8),17.0(17.5)GHz.利用单片集成增强/耗尽型GaAs基MHEMT器件制备出九阶环型振荡器,直流电压为1.2V时,振荡频率达到777.6MHz,门延迟时间为71.4ps.利用Ti/Pt/Au MHEMT器件设计并制备出了DC-100Hz单刀双掷(SPDT)关MMIC,其插入损耗、隔离度、输入输出回波损耗分别优于2.93,23.34和20dB.  相似文献   
65.
介绍了增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT小信号等效电路中元件参数值的提取方法,并利用IC-CAP软件EEHEMT1模型提取了参数.利用ADS软件验证了提参结果,ADS仿真的直流I-V曲线和S参数与实测结果基本吻合.结果表明EEHEMT1模型可以用于提取增强型PHEMT参数,并且具有可操作性.  相似文献   
66.
介绍了增强型InGaP/AlGaAs/InGaAs PHEMT小信号等效电路中元件参数值的提取方法,并利用IC-CAP软件EEHEMT1模型提取了参数.利用ADS软件验证了提参结果,ADS仿真的直流I-V曲线和S参数与实测结果基本吻合.结果表明EEHEMT1模型可以用于提取增强型PHEMT参数,并且具有可操作性.  相似文献   
67.
本文采用水热法生长的ZnO纳米线制得悬浮ZnO纳米线场效应晶体管,该场效应管的跨导为0.396μS,迁移率为50.17cm^2/Vs,VGS = 0 V时电阻率为0.96×102Ωcm,开关态电流比(Ion/Ioff)为10^5。该效应管在紫外下曝光(2.5μw/cm2)后显示了穿通现象和开启电压漂移(从-0.6V 到 +0.7V),且由于漏极感应势垒的降低,使得源漏电流减少一半(从560nA到320nA)。悬浮ZnO纳米线场效应管的这些性质揭示了它的一些内在属性和器件方面的应用。  相似文献   
68.
本文报道了用分离厌氧发酵新工艺处理大型畜牧场粪便及其低浓度粪水的试验结果。试验系统包括一个粪便酸化器及一个不需外加动力就能进行间歇搅拌的气化器(AWE)。探讨了系统最佳工艺条件,测试了AWE装置的搅拌效果。试验表明,AWE装置在处理低浓度粪水时,提高了传质效率,其COD产气率及去除率优于上流式污泥床(UASB),干物、挥发固体的降解率高于一般农村沼气池的传统发酵工艺。  相似文献   
69.
70.
现代高层建筑是向更高、体型更复杂、结构形式更多样、功能更齐全、综合性更强的方向发展。然而在设计中,由于结构下部楼层受力较大,上部楼层受力较少,正常布置时是下部刚度大,墙多柱网密,到上部渐渐减少墙,柱扩大轴线间距。为满足建筑物的功能要求,实现结构布置,必须在结构变换的楼层设置转换层,转换层大致有梁式、桁架式、空腹桁架式、箱形和板式等。本文根据多年的施工实践,着重介绍结构转换层的施工方法及其质量控制。  相似文献   
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