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从主体树脂的结构设计、单体的合成工艺、主体树脂的合成工艺、光致产酸剂的评价、配方研究等多个方面论述了193nm光刻胶的研制工艺,合成出了多种适用的单体及多种结构的主体树脂,进行了大量的配方研究,筛选出了最佳配方.研制出的样品经美国SEMATECH实验室应用评价其最佳分辨率为0.1μm,最小曝光量为26mJ/cm^2,不但具有优异的分辨率和光敏性,而且还具有良好的粘附性和抗干法腐蚀性. 相似文献
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文章基于面积和功耗方面考虑提出了一种低功耗多相变级数非递归梳状滤波器结构,这种滤波器适合高阶过采样sigmadeltaA/D转换器。抽取滤波器采用Top-down方法设计,用0.6-μmCMOS标准单元实现,相比同样速度下的标准的非递归结构抽取滤波器节省了约1/3面积和功耗。 相似文献
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12月17日,中国最大的PC供应商联想集团在京举办“98联想奔月行动”新闻发布会,宣布推出一款基于Intel Pentium Ⅱ处理器、售价仅为9999元的联想奔月电脑,从而使国内市场首次出现了万元以下的Pentium Ⅱ机型。 相似文献
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