数控机床进给伺服CAD系统的开发

采用参数化建模技术和三维实体造型技术设计的CAD系统,该系统采用面向对象方法进行进给伺服系统的参数计算、三维实体图形库的建立,系统具有使用方便、自动化程度高、可扩充的特点,可大幅度地提高设计效率,降低设计、生产成本,提高产品质量.     

40nm节点低阻接触栓的电迁移可靠性优化

研究了40 nm工艺中低阻值接触栓的电迁移性能的提升。高性能芯片要求接触栓电阻尽可能小,而接触栓尺寸的减小使低电阻率钨成为必然选择。新材料的引入和尺寸减小等因素使传统工艺中较为稳定的接触栓的电迁移可靠性面临新的挑战。通过减少电化学腐蚀、改善金属填充、强化界面结合力及减少应力失配等,形成综合性解决方案。最终封装级电迁移可靠性测试结果为:激活能Ea为0.92 eV,电流密度指数n为1.12,寿命为86.3年(超过10年的标准)。与最初工艺相比,消除了顶部腐蚀和中心空隙的缺陷形貌,接触栓电阻优于设计标准,抗电迁移寿命提高超过一千万倍,极大地提高了接触栓的电迁移性能。