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金刚石虽然具有极为优异的性能,如具有很大的能隙,高的电子迁移率、空穴迁移率和高热导率,以及负的电子亲和势,但要将它用于半导体材料时还不能直接使用,必须要先进行金刚石的P型和n型掺杂。因此,研究金刚石的P型和n型掺杂具有很重要的现实意义。在金刚石薄膜中掺杂时,一般是掺入硼原子以实现P型掺杂,掺入氮原子或磷原子以实现n型掺杂。然而,由于N和P在金刚石中的施主能级太深,现在n型掺杂金刚石薄膜制备尚不成功,这是金刚石实用化的障碍。本文介绍了金刚石膜掺硼目的、方法和制备,总结了掺硼金刚石膜在微电子、电化学、光电子、工具等领域应用状况以及存在问题。 相似文献
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正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力 相似文献
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正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏 相似文献
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本文介绍了微型计算机在真空测量、真空控制、真空数据处理和真空设备的计算机 辅助设计等真空技术领域中的应用,并分析了国内外真空技术领域中微型计算机应用情 况,认为微型计算机在真空技术领域中的应用将促进真空技术的进步。 相似文献
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本文比较全面、系统地介绍了一种食品罐头真空度的无损检测方法,在经典电涡流理论的基础上,通过对罐盖在大气压差作用下受力变形的分析,以罐盖变形量为中间变量,在罐内真空度和检测所用的振荡电路频率间建立起联系,给出了制作完成的传感器结构图及其标定方法,并简要介绍了整台仪器的组成,所介绍的方法适用于对各种密封容器内的真空度检测。 相似文献
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To decrease the radiation heat load of the cryopanel is considered to be necessary for the design of cryopumps. In general, a radiation baffle is mounted between the cryopanel and the heat source. The radiation baffle absorbs the majority of the radiated heat load. However, the motion of molecules to be pumped is baffled and the pumping speed is lowered at the same time. Therefore the selection of a good radiation baffle is a very important issue for the economical operation of the cryopump. By calculating and comprehensively analyzing the thermal transmission coefficients and the molecular transmission coefficients of baffles of different structures, a type of Chevron baffle is found to be more satisfactory. This paper focuses on the application of the Monte Carlo Method involved in the process of analysis and calculation. 相似文献