面向国民经济建设 开拓测试科技业务

测试对于自然界的认识和科学的发展有着重大的意义。从科技发展史可知，科学技术上的一些突破，常常是以测试技术为基础的。当今，各门学科为了有所进步，总是把不断革新自己的测试手段放在重要位置上。所以，测试技术在相当程度上影响着科学技术的发展速度和深度。在当代，任何生产过程都可以看作是物质流、能源流、信息流的组合，而信息流是管理和控制物质流、能源流的依据。测试就是在生产过程中、对信息流进行检出、变换、显示、存储等一系列的综合处理过程，是确保设备正常运行、检查产品质量、提高生产效率、合理使用能源和环境安全防…     

光电子技术中的若干计量测试问题

文章将就光电子技术与产业领域提出的急切的计量测试问题如激光辐射度学、光纤计量学、波分复用 (WDM)系统计量学等作简要评述 .     

铬原子束1维多普勒激光准直分析

为了研究预准直后铬原子束1维多普勒激光准直效果随着激光功率、激光失谐量和作用区域等各种参量变化的情况,采用适当步长的4阶Runge-Kutta算法进行了理论分析,得到了铬原子束1维多普勒激光准直效果与各种激光参量之间的变化关系.结果表明,铬原子束经过离坩埚口600mm、横向尺寸为5mm狭缝预准直后,在激光功率为20mW、激光失谐量为-0.5?梦踉拥淖匀幌呖?、作用区域为2倍最小作用区域的情况下,可以获得最好的激光准直效果.     

原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究

原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm 的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。     

铬原子束激光感生荧光稳频技术理论分析

在铬原子光刻中可采用铬原子束激光感生荧光(LIF)来实现激光频率的稳定,以满足原子光刻对激光频率稳定性的要求。激光感生荧光稳频技术除有很高的稳频精度以外,还可以获得相对于原子共振频率的一定失谐量。本文根据已有的实验条件和参数从铬原子束的速率分布、激光频率与荧光斑点中心横向位移的关系、二象限光电探测器测得的误差信号等方面对铬原子束激光感生荧光(LIF)稳频技术作了理论分析。     

铬原子束的激光多普勒冷却

为了满足原子光刻对原子束准直度的要求,设计了一套激光多普勒冷却原子束装置,对铬原子束实施横向多普勒冷却.利用腔外倍频的掺钛蓝宝石激光器获得与铬原子共振跃迁一致的蓝光,并通过一声光调制器(AOM)将激光失谐量调谐至低于原子共振频率5MHz处.文中亦对施加激光冷却场前后铬原子流的分布状态进行了数值模拟,最后的实验结果和模拟结果吻合较好.同时对荧光经过处理计算,激光多普勒冷却使得铬原子束的发散角度可从4.5mrad降低到了0.9mrad.     

基于NMM的AFM测试分析原子光刻纳米光栅样板

利用激光汇聚中性铬原子沉积出一维纳米光栅样板的基础上,基于 NMM的AFM测量系统对样板进行了测试分析和测试方法研究,得到一维纳米光栅结构平均节距为212.6±0 4nm,与52Cr原子共振跃迁(7S3→7P04)的半波长(λ/2)理论值212.8nm基本一致,测试结果非常准确.文章还介绍利用NMM测量机的大范围扫描测试距离,解决了光栅样板的测试区域快速定位的问题,对研究纳米级精度测量有实用价值及参考意义.     

52Cr原子束激光生荧光稳频技术

通过分析^52Cr原子光刻对激光系统的技术要求，详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光（LIF）光谱技术的稳频方法。     

用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据

由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。