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光学非球面复合加工机床的设计与精度分析 总被引:5,自引:1,他引:5
介绍了集铣磨成形、研磨、抛光于一体的大中型非球面光学加工机床(AOCMT),分析了其设计方法、结构特点和主要技术参数;通过X、Y、Z、A、C五轴数控联动,AOCMT能加工出任意复杂的光学表面,且始终保持刀具轴线位于加工点的法线方向,以消除非对称误差的影响;研究了各运动轴定位误差对铣磨精度的影响,通过采取必要的工艺措施,AOCMT的铣磨精度能稳定地优于8μm;分析了AOCMT的后置处理算法,通过坐标平移和旋转,得到了三、四、五轴数控加工的通用坐标变换公式。 相似文献
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光学镜面离子束加工的可达性 总被引:9,自引:6,他引:3
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该<0.5。 相似文献
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提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺,其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构,还有各自独立的惯性质量块,隔振框架隔离了驱动结构和检测结构,减小了模态之间的交叉耦合;利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺,在n型〈100〉低阻硅片上制作出了微陀螺样片,并为其研制了配套的测控电路;测试结果表明,驱动模态频率为2.981kHz,品质因子为800,检测模态频率为2.813kHz,品质因子为34,刻度因子为38mV/(°/s),线性度优于0.8%,微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s. 相似文献
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对振动情况下加工的工件表面的三维形貌进行了仿真 ,并从理论上对工件表面形貌的径向、周向与刀具螺旋轨迹方向的截面轮廓进行了分析。结果表明 :不同的截面轮廓分别载有不同的表面特征信息 ,利用这些特征有助于对刀具与工件间的相对振动进行辨识。采用有关文献中的试验数据对仿真结果进行了验证 相似文献
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