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研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000 gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻尼控制).这种加速度计采用n型(100)普通硅片制作,主要工艺过程包括双面ICP深刻蚀和压阻集成工艺.振动台测试结果表明,加速度计的灵敏度为0.11 mV/gn/5 V,谐振频率为31 kHz,灵敏度±5%变化下平坦带宽大于5 kHz.采用落杆测试法测试了加速度计的冲击响应及0~2 000 gn满量程范围内的非线性度.封装后的加速度计承受15 000 gn的冲击测试后没有受到损坏. 相似文献
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交叉耦合算法的超精密数控机床伺服控制 总被引:4,自引:0,他引:4
超精密加工的轮廓精度控制直接影响到工件的加工精度,交叉耦合控制算法通过对两轴进行协调而影响轮廓控制精度。文章在分析超精密数控机床误差模型的基础上,将变增益交叉耦合控制算法引入超精密空机床的伺服控制,实验结果表明:变增益交叉耦合控制算法可以在不改变位置环的情况下,有效地提高系统的轮廓精度。 相似文献
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超精密加工与控制技术 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍超精密加工的重要意义,并结合多年的实际经验分析了当前我国超精密加工技术研究,开展的关键技术和重点,以及急需解决的问题。 相似文献
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基于多体系统理论的数控机床空间误差建模 总被引:2,自引:0,他引:2
运用多体系统理论建立起了通用的数控机床空间误差模型,以XYFZ型三轴立式机床为例,阐述了建模过程,给出了空间误差模型的具体数学表达式. 相似文献