光刻机投影物镜的温度控制算法

针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特征,提出了双输入双输出多模态非线性PI控制算法来提高温控过程的收敛速度和稳态精度.算法将温控系统从启动到稳定划分为5个控制模态,下层采用非线性PI算法实现精确控制,上层利用智能决策实现多模态的选择和切换.该算法已被成功运用于光刻机投影物镜温度控制系统中,实现了投影物镜温度控制的快速收敛,使光刻机在±0.006℃范围内稳定工作,对比实验进一步显示该算法具有较强的鲁棒性和自适应性.     

基于BPS的堆垛机速度控制与认址方法研究

提出1套基于BPS条码定位系统的堆垛机速度控制与认址方法,阐述了BPS的组成以及基于BPS实现速度控制与认址的关键技术,实现了堆垛机运行的绝对认址、准确定位、无级调速以及零速停车,有效地提高了堆垛机的运行效率与存取货物的安全性。     

矿山通风设备故障监测与诊断系统研究

针对实际矿山数字化改造的整体需求,设计并实现了基于参数估计算法的井下通风设备故障监测与诊断系统。系统硬件采用单片机控制、总线挂接式结构及智能传感器,通过CAN现场总线实现数据通信。系统软件以Visual Studio(VS)2005为开发工具,基于智能客户端开发出Windows环境下的应用系统软件。现场应用表明所设计的系统能够满足矿山实际需求。     

新型冠状病毒防控期间我国粮食行业应急能力分析

新型冠状病毒肺炎自发生以来，对全国居民生活、生产带来了巨大的影响，本文汇总了自疫情爆发以来我国各级政府部门为了应对疫情，保障粮食市场供应，满足消费者基本饮食需求所做的努力，分析了粮食食品产业在疫情应对中的重要作用和我国近期主要食品大省粮油供需情况，并提出了我国粮食产业发展方向，以期为公共卫生事件爆发期间政府应急管理提供指导，为保障粮油行业市场供给提供参考。     

电气噪声对地音传感器低频扩展范围的影响分析

地音传感器被广泛采用串联校正方法进行低频扩展以实现对低频及超低频振动的准确测量,电气噪声是影响其低频扩展范围的关键因素.建立了包含测量、预放大、传输及串联校正环节在内的多输入单输出地音传感器测振模型,定量分析了初、次级电气噪声水平与地音传感器低频扩展范围之间的关系.研究结果表明,初级电气噪声是限制地音传感器低频扩展范围...     

基于时域平均和Hilbert- Huang变换的时频熵理论轧机齿轮箱故障诊断

通过对时域平均技术和Hilbert - Huang变换的时频熵理论及实验进行研究,对某厂一台轧机卧式齿轮箱工作时产生的振动进行测量,利用时域平均技术对振动信号进行预处理、计算Hilbert -Huang变换的时频熵并把它作为特征量,对轧机卧式齿轮箱工作时的故障进行诊断,获得了满意的结果.同时也验证了本课题所用方法的先进...     

集中供热系统供热首站方案选择和经济性分析

结合集中供热系统热源供热首站方案实例,对直接连接混水＋分布式变频泵和间接连接两种方案进行了初投资、运行电耗成本及维护成本等方面的经济技术性分析,得出了在保证系统安全的情况下,采用直接连接混水方案经济性更好的结论。     

基于液晶空间光调制器的相位差波前探测技术定量研究

为了定量研究相位差波前探测技术(phase diversity technique,PD)对波前探测和图像重建的精度,本文分别进行了数值模拟以及相关实验。数值模拟中采用了均方根(root-mean-square,RMS)分别为0.1λ~0.5λ的五组随机畸变波前,获得其退化的焦面图像和相应的离焦图像信息,利用PD技术对其进行波前探测和图像重建,波前探测的残余误差RMS值均达到了10~(-5)λ水平,重建图像在分辨率和对比度上有明显提升。搭建了基于液晶空间光调制器的实验系统,利用液晶空间光调制器来定量施加随机的波前像差,可以有效解决湍流屏数据难以量化的问题。同样将PD技术应用于本实验所采集到的退化焦面图像和相应离焦图像,对于RMS值为0.306λ的随机波前像差,探测波前的残余误差为0.091λ,图像重建结果与模拟结果高度一致,本文列举并分析了可能造成实验误差的多种因素,同时为该技术应用于液晶系统积累了技术基础。     

基于分组泥沙冲淤规律的小浪底水库减淤调度研究

研究黄河下游河道的中、较粗泥沙冲淤效率与细泥沙含量和全沙含沙量的定量关系,据此得到不同细泥沙含量条件下,中、较粗泥沙在黄河下游河道不发生淤积的临界含沙量。同时,结合黄河干流水库的分组排沙比与全沙排沙比的关系,给出小浪底水库不同入库含沙量条件下,中、较粗泥沙在下游河道不发生淤积的水库排沙比。     

珠江口盆地惠州凹陷A井珠海组潮汐沉积

珠江口盆地惠州凹陷A井珠海组发育潮汐沉积,以细砂、粉砂和粉砂质泥岩为主,局部含有泥砾。根据A井岩心观察,按岩石学特征出发在珠海组识别出4种岩石相以及4种岩石相组合。据岩相类型和沉积构造特征,可从A井珠海组潮汐沉积内识别出2个沉积亚相和4个沉积微相,其中潮下带包括潮汐水道和潮汐水道侧缘,而潮间带则发育有砂坪及混合坪2种微相。描述了发育在珠海组的潮汐沉积构造及其微相组合特征,并预测出潮汐水道是砂岩储层分布和发育的最有利相带。