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形成SOI结构的ELO技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文研究了在常压外延系统中,利用 SiCl_4/H_2/Br_2体系在SiO_2上外延横向生长(ELO)单晶硅技术.比较了Br_2和HCl对硅的腐蚀速率,发现前者对娃的腐蚀速率约比后者慢一个数量级,指出Br_2的引入有着重要意义.给出了Br_2和H_2对Si和SiO_2的腐蚀速率曲线,讨论了外延横向生长速率对SOI结构的材料表面形貌的影响.在该 SOI膜上制造了 MOS/SOI器件,其N沟最大电子迁移率为360cm~2/V.s(沟道掺杂浓度为 1×10~(16)/cm~3),源-漏截止电流为 9.4×10~(-10)A/μm. 相似文献
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利用有效相对增益方法分析电气距离、光伏出力大小对青海海西电网大型并网风电场、光伏电站、柴拉直流系统间交互作用的影响。首先介绍有效相对增益矩阵分析交互作用的算法,然后将大型风电场、光伏电站进行等值,以便进行暂态仿真分析。最后搭建青海海西电网暂态仿真模型,计算风电场、光伏电站、柴拉直流系统间有效相对增益矩阵。结果表明,3个系统间电气距离越小、交互影响越大,同时在地区电源总出力一定时,随着常规电源出力的减小、光伏电站出力相应增大,系统间的交互影响越大,仿真分析验证了所提方法的准确性。 相似文献
995.
介绍一种基于Winkler地基模型和剪切位移法的群桩沉降轴力简化分析方法。采用简化方法对风力机基础工程实例进行分析,并与沉降量实测数据进行对比。分析表明,该方法考虑了群桩效应以及土体的分层特性,计算较简便,且计算精度满足工程要求,在风力机基础竖向力学分析计算中得到较好应用。 相似文献
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利用有限单元法计算某高拱坝正常荷载至极限承载力的超载过程,通过对超载过程中单元应变能变化规律的统计分析,发现在结构超载初期,单元应变能增长较快;单元应变能变化率较大的单元,在单元百分率所占比例较高,随着荷载的逐渐增大,单元应变能增长变缓;当结构达到极限承载力时,应变能变化率较小的单元在单元百分率中所占比例较高;单元应变能概率分布在超载过程中先集中再分散,且单元应变能越集中,表明结构越具有较大的超载能力,单元应变能变化率越分散,表明结构越接近超载极限;单元应变能变化率在超载过程中先分散再集中,且单元应变能增长率越分散,表明结构越有较大的超载能力,单元应变能变化率越集中,表明结构越接近超载极限。 相似文献
998.
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