微机械电子隧道传感器研究进展

说明了微机械电子隧道传感器的工作原理，分析了电子隧道传感器的优点。较系统地介绍了几种典型的微机械电子隧道传感器包括微机械电子隧道加计、红外探测器和磁强计等，并简要介绍了国际上在这个领域的研究机构。     

梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)

提出了一种体硅微加速度计的设计和制造方法,同时设计了它的闭环反馈伺服电路,分析了加速度计的质量块、悬臂梁和梳尺间隙对量程、非线性、灵敏度、抗冲击能力和带宽等特性的影响。已经加工出的微加速度计,其全量程为±60g,非线性度0.2%,带宽1kHz,灵敏度200mV/g,抗冲击能力10kg。对由加速度计结构设计、温度和伺服电路造成的零位漂移现象进行了分析,提出了一种制造微加速度计的新颖MEMS工艺———正面释放体硅工艺。     

移动数字电视调谐芯片中I2C接口电路设计

采用TSMC 0.13μm CMOS工艺,对多模多频段移动数字电视调谐芯片内I2C接口电路进行设计和验证.采用数字集成电路设计流程,详细验证接口电路的时序.布局布线后得到较为理想的版图面积与功耗.版图后仿真结果表明,在100 MHz时钟下,电路满足I2C协议的时序要求,可广泛应用于移动数字电视调谐芯片中.     

浅论活塞环立式内外圆仿形加工车床

仿形车加工是活塞环机械加工的关键工序,其加工质量对活塞环的性能有着重要影响。立式内外圆仿形车床,起初由瑞士DIMACO公司研发,该设备是集活塞环内外圆同时仿形加工、开口于一体的组合机床。其仿形凸轮进行了系列化处理,创新设计了框式滑架车头,机床加工产品质量稳定,精度好,效率高。虽然其性能优异,但因价格昂贵,国内仅有两家活塞环企业引进了3台。近年来,国内一些设备制造厂也自主研发了活塞环立式内外圆仿形车床,并日趋成熟,将会有越来越多的活塞环生产企业采用。     

氧化微晶蜡投资估算及经济分析

通过投资规模分析,确定了氧化微晶蜡生产规模为1000t/a;在投资概算和成本概算的基础上对该建设规模进行了经济分析和盈亏平衡点分析.经济分析表明,1000 t/a装置投产后可实现年销售收入1600万元,年利税438.55万元,年利润(税后)278.55万元.投资回收期2.6年(含建设期0.6年),投资利润率为49.7%.项目经营安全率75.1%.说明项目的盈亏可靠性高.抗风险能力强.     

基于薄层SOI材料的NEMS结构制备技术

提出一种基于薄层SOI材料的NEMS(nano-electro-mechanical-system)结构制备技术。通过大量实验研究,突破了电子束光刻、ICP刻蚀、CO2超临界干燥释放等工艺技术,可以在常规的薄层SOI材料上加工出任意复杂形状的NEMS结构。作为工艺验证器件,利用该技术在薄层SOI材料上成功实现了梳齿结构NEMS谐振器的样品制备。扫描电镜结果表明,谐振器厚度95nm,谐振梁宽度95nm,梳齿宽度128nm,梳齿间隙83nm,该加工技术可以实现结构完整、完全释放的NEMS结构。     

城域CWDM系统的关键器件

介绍了光器件在粗波分复用系统中的应用,并与密集波分复用器件进行了比较,论述了这些器件在城域粗波分复用系统中的应用优势,指出该器件的进一步研发方向。     

UTM全攻略

根据大多数厂商的定义，UTM是一种集多种安全特性为一体的硬件设备，并统一在一个标准的管理平台之下，包含网络防火墙、网络入侵检测和防御、网关防病毒等多种功能。从定义来看，UTM是多种安全技术的整合，但不是各种安全技术的简单迭加，而是深度整合。UTM强调的是集成管理、集成安全的能力。如果单独比较，UTM的单个功能可能不是同类功能中最好的，但是UTM的功能是全面的，可以利用其它部分来弥补，例如防火墙功能中的深度检测，在UTM中可能就不需要和独立的防火墙去安全比较，因为UTM内含的IPS的能力可以弥补这方面的能力，可以超过独立防火墙在这方面的能力。[编者按]     

一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器

介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间＜1 ms.     

基于分段电极的电场探测系统灵敏度研究

针对分段电极结构的集成光学电场传感器,分析了电场探测系统的灵敏度,得到了影响灵敏度的各个参数,并做了优化,经过优化的这种电场探测系统的极限灵敏度可达到19.4 dBμV/m.模型分析所得该传感器的探测灵敏度为87.3 dBμV/m,与实验得到的90.0 dBμV/m基本一致.