基于分段电极的电场探测系统灵敏度研究

针对分段电极结构的集成光学电场传感器,分析了电场探测系统的灵敏度,得到了影响灵敏度的各个参数,并做了优化,经过优化的这种电场探测系统的极限灵敏度可达到19.4 dBμV/m.模型分析所得该传感器的探测灵敏度为87.3 dBμV/m,与实验得到的90.0 dBμV/m基本一致.     

高精度MEMS硅微陀螺仪正交误差设计

正交误差是影响振动式硅微陀螺仪测量精度的主要因素之一,设计并制备了一种具有正交误差校正功能的高精度振动式微电子机械系统(MEMS)硅微陀螺仪。阐述了振动式硅微陀螺仪的工作原理,分析了正交误差产生的机理,并介绍了正交误差对陀螺仪测量精度的影响。为了进一步提升陀螺仪的测量精度,利用直流负刚度校正法对陀螺仪正交误差进行了校正,并通过有限元仿真确定了高精度陀螺仪敏感结构的最优参数。利用圆片级真空封装技术和绝缘体上硅(SOI)工艺实现了高精度陀螺仪敏感结构芯片的制备,采用高密度LCC20陶瓷管壳实现了高精度陀螺仪的集成封装。陀螺仪封装后,整体尺寸为9.0 mm×9.0 mm×2.8 mm。测试了陀螺仪的性能参数。测试结果表明,陀螺仪量程为±500°/s,零偏不稳定性为1.052°/h,零偏为0.004°/s,能够满足陀螺仪大部分中低精度应用需求。     

MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制

介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成,加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件,该器件通过微型温度传感器测得的热对流气体的温度差实现加速度和角速率的测量。分析了器件的工作原理,根据仿真结果设计了双层的器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件同时具备了加速度传感器和角速率传感器的检测功能,很好地验证了设计的可行性。     

MEMS光开关

采用MEMS体硅工艺,制作了三种结构的微机械光开关:水平驱动2D(二维)光开关、垂直驱动2D光开关和扭摆驱动2D、3D(三维)光开关.水平驱动光开关采用单层体硅结构,另外两种光开关都采用了硅-玻璃的键合结构.它们的工作原理都基于硅数字微镜技术.这三种光开关均采用了静电力驱动,具有较低的驱动电压,其中扭摆式光开关的驱动电压小于15V.对于2D开关阵列,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽.对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析,结果表明这两种光开关具有小于1ms的开关时间.     

跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计

作为敏感外界加速度的器件,微电子机械系统(MEMS)加速度计容易受到外界应力的影响.而跷跷板式加速度计采用直梁的结构形式,其温度性能、抗冲击和过载能力都较差,在梁及其连接处会因应力集中,造成加速度计结构发生形变甚至损伤.因此为了提高跷跷板式加速度计的可靠性和温度性能,对锚点和梁进行了优化设计.首先,介绍了跷跷板式MEM...     

MEMS电容式加速度计的动态特性分析

针对梳齿电容形式的微机械加速度计,对其工作原理和动态性能进行了分析。该微结构的质量块由4个折叠梁支撑,采用梳齿结构形成差分检测电容用于检测质量块的位移。通过理论推导得到了结构的质量、刚度和阻尼的计算公式。组成梳齿结构的两平行极板间的气体在极板运动时产生两种作用力:阻尼力和弹性力,运动频率较低时阻尼力为主要表现形式,高频时弹性力则占主要因素。针对一组特定的结构参数,对气体压强分别为100Pa和0.1MPa时微机械加速度计的频率响应特性进行了分析,当气体压强太小时,会造成系统带宽的降低,而当气体压强较高时,系统的动态特性表现良好,并在电容极板间隙约为3μm时,系统的动态特性达到最优。     

基于SOI的径向体声学振动圆盘形微机械谐振器

本文报道了一种应用于射频领域的径向体声学振动模态的圆盘形微机械谐振器。谐振圆盘由SOI硅片制备,以金电镀层制作环绕电极。圆盘半径20um,厚4.5um,通过位于中心的锚点支撑,以金-金热压键合固定在另一个硅片上形成三维悬空结构。圆盘和环绕金电极之间的间隙为100nm。对制作的谐振器真空封装后进行测试,谐振频率为143MHz,品质因数为5600。     

微机械电子隧道传感器研究进展

说明了微机械电子隧道传感器的工作原理，分析了电子隧道传感器的优点。较系统地介绍了几种典型的微机械电子隧道传感器包括微机械电子隧道加速度计、红外探测器和磁强计等，并简要介绍了国际上在这个领域的研究机构     

为了百万元,他竟然将——黑手伸向茹苦的母亲

1997年1月13日下午2点多钟,黑龙江省丹东市振安区楼房镇公安派出所的电话骤然响起:“我嫂子陆桂花烧死在家里”所长田立新立即率民警赶赴现场——孤山村5组村民陆桂花家中。