Calutron离子源放电中的反常电子

一、引言热阴极弧放电的基本特征是热阴极发射电子,在形成等离子体后,阴极前建立一个厚度约为几个德拜(Debye)长度的双鞘层。由于等离子体的高电导率,其中不能存在强的电     

微控中流离子注入机用Freeman离子源

为了适应我国半导体器件及大规模集成电路工业的发展,研制一台供微控中流离子注入机使用的气固两用Freeman离子源。~(11)B~ 束流达1.5mA,离子比大于40％。     

探针法测量磁力线

在使用大型磁铁的许多现代物理仪器中,不仅对场强及其分布发生兴趣,而且对磁力线的空间形状、特别是对具有一定曲率的区域也有很大兴趣。在这种情况下,必须对磁力线的空间形状进行较准确的测量。曾经有过许多显示磁力线的方法,但往往是复杂的和不准确的。例如,М.Арденне提出“点阴极放电管视测磁力线”方法。这种方法的优点是     

中流强注入机的弗瑞曼离子源

一、引言离子注入在半导体工业、金属材料改性的研究,特别是在大规模集成电路的研制中得到了广泛的应用。我们这台离子源是为中流强离子注入机研制的,它的设计指标是:1.气、固两用离子源,固体工作温度为250-800℃。2.分析后接收~(11)B~+≥500μA,横向张角(发散束)α≤±3°,纵向张角(会聚束)β≤±1°。3.在~(11)B~+=500μA下灯丝寿命为10小     

电磁分离器中的同位素溅射沾污

文章讨论了电磁分离器中离子束轰击接收器面板、口袋及结构部件产生的溅射,研究了这种溅射引起的同位素沾污,提出了需要采取的措施。     

强流表面电离离子源

本文系统地描述了强流表面电离离子源的工作原理和结构。详细论述了研制该源的技术关键,主要有:电离器材料的选择与成型、电离器的加热问题、蒸汽的分配、流向与控制、非所需电离表面的冷却和离子光学等。该源自1972年研制成功以来,已经应用于大型180°电磁同位素分离器上,它适于分离硷金属和稀土元素的同位素。例如,分离铷元素,其最大引出总离子流达10mA,最大接收总离子流为66mA,平均接收离子流大于25mA。大量结果表明:该源具有强流、聚焦性能好,稳定可靠等优点,并可望推广应用于其它领域。最后,本文还讨论了该源中出现的一些有趣的实验现象,指出了进一步研究的问题。