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芯片集成度的提高和大面积化,封装多针脚、细引线、小型化等会引起器件可靠性的下降。本文依据强度理论和试验,预测塑料封装中的损伤模型并提出了减少损伤,增加可靠性的措施。 相似文献
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本文利用光学显微镜和扫描电镜对共烧结多层AlN-W界面特征进行了观察与研究。光学显微镜观察表明:Al-W共烧界面为起伏交错的交联状,AlN和W各自嵌入到对方基体中。SEM进一步观察表明,内交联的界面实现了W层在AlN基体上的附着。界面处无明显的次生相生成。SEM的能谱(EDAX)对界面上的Al和W元素分布进行表明:在几微米的分辨率范围内,既没有W向AlN层的扩散,也没有Al向W层的扩散。通过对剥离W膜界面侧W形貌与自由表面W形貌对比观察表明,共烧界面W的重结晶与晶粒长大受到AlN的制约,晶粒呈小晶粒结构。 相似文献
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电子封装技术和封装材料 总被引:17,自引:0,他引:17
本文介绍了电子封装的各种类型,综述了电子封装技术与封装材料的现状及发展趋势,重点讨论了高热导AlN基片金属化及AlN-W多层共烧工艺。 相似文献
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利用各种分析电镜观察了掺杂助烧剂和未掺杂助烧剂的AlN陶瓷的微观结构特征,鉴别了AlN中的第二相,研究了AlN中的第二相,研究了AlN基板上薄膜(Au-Pt-Ti)和厚膜(Mo-Mn)金属化界面的结构。 相似文献
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A1N陶瓷具有高的热导率和与Si相接近的热膨胀系数以及电绝缘特性,是一种应用前景极好的基片材料。本文介绍了A1N陶瓷的基本特征、用于陶瓷基片和封装材料的工艺难点及A1N陶瓷的应用现状和前景。 相似文献