图象式自动瞄准系统的研究

光学仪器瞄准的自动化和智能化一直是现代仪器设计中的关键问题,提出一种新的图像式自动瞄准系统,它采用“电子准星”技术和亚旬素细分技术实现了被测零件轮廓的自动瞄准。该系统已成功地应用在万能工具显微镜图像化和升级改造中,可将万能工具显微镜测量精度提高一个数量级,同时扩展了原有功能。该方法还可用于各类光学仪器的自动瞄准和测量。     

压电双晶片传感器灵敏度特性分析

文中用模态分析法详细分析了压电双晶片力、振动、粗糙度传感器的位移特性及灵敏度特性,并给出了灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系。     

用于微小内尺寸测量的新型光纤传感器

本文简要地介绍了一种新型的用于位移测量的光纤传感器的设计机理,对传感器测头的结构设计进行了理论分析,并给出了初步的实验结论。实验结果与理论分析相符,测量微小孔径时的定位分辨力为0.05μm     

基于优势遗传的自适应遗传算法

针对遗传算法的早熟问题,对自适应遗传算法进行了研究,提出优势遗传的新观点:在交叉算子设计时使适应度高的个体以较高概率进行交叉,并且在变异算子设计时使适应度低的个体以较高概率进行变异,能更有效地产生出优势个体,跳出局部最优.认为算法设计时使平均适应度过快逼近最大适应度是不合适的.由此,提出一种新算法,以优势遗传的原则随个体适应度的变化而自适应地改变交叉和变异概率,在一定程度上有效解决算法的早熟问题.实验表明,该算法能有效提高全局寻优的性能,鲁棒性好.     

The Reception Method of Laser Interferometric Measuring Signals by Three Photoelectric Cells

ＴｈｅＲｅｃｅｐｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄｏｆＬａｓｅｒＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃＭｅａｓｕｒｉｎｇＳｉｇｎａｌｓｂｙＴｈｒｅｅＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃＣｅｌｌｓＺＨＡＮＧＳｈａｎｚｈｏｎｇＰＵＺｈａｏｂａｎｇＷＵＪｉｎｘｉｅＦＡＮＺｈｉｇａｎｇＦＡ...     

基于光栅的快速精确图像拼接

为了提高IC芯片视觉检测中图像拼接的速度和精度,提出一种基于精密光栅运动系统的快速精确图像拼接技术。提出自标定技术解决了传统标定受标准件加工尺寸精度和光强影响的问题,提高了标定的准确度并降低了成本。在准确标定基础上,建立了基于光栅精确定位的拼接模型。实验表明,该方法拼接精度高,拼接平均误差在0.4 μm以内,2 σ为0.872 μm,达到亚像素级精度,而且拼接速度快,两幅图像拼接时间约为10 ms。     

复杂轮廓表面光纤数字化系统

详细描述了系统的构成。实验结果表明,所设计研制的光纤传感测量系统能很好地实现复杂轮廓表面形状的检测问题。测量系统的稳定性优于0.15％,高度分辨力优于0.4μm,定位测量的重复性达到±3μm,由于在传感头端部采用了自聚焦透镜技术,使该传感器有较高的横向分辨力,能有效地实现对微小复杂形状尺寸的扫描检测。将系统用于螺纹型面的检测,测量结果与用万能工具显微镜的检测结果比对,证明了本测量系统的实用性和方法的正确性。     

光栅楔形平板及其在转角测量中的应用

在楔形玻璃平板表面加工闪耀光栅，即构成了光栅楔形平板，本文详细介绍了其工作原理，将该光栅楔形平板用于双频激光干涉转角测量中，不仅简化了测量装置，减小了干涉仪的尺寸，而且装调方便，实验表明，其测量小角度分辨力优于0.1″/测量整周角度的重复性误差小于5%。     

一种精确的压电双晶片参数动态测试模型和方法

本根据悬臂染式压电双晶片的动态导纳矩阵，设计了一种器件参数动态测试模型，用于测量压电双晶片的几个主要参数：压电常数d31、机电耦合系数κ31、介电常数ε33^T、弹性顺度常数s11^E和等效电容等。中详细叙述了测试模型的建立和测试步骤，并提出了一种实际试样的测试结果。理论与实验表明，这种新的动态测试方法是精确、可行的。     

容性设备介质损耗角δ在线监测中的干扰抑制新方法

传感器的直流漂移以及电网的3次、5次、7次谐波直接影响介质损耗角δ的测量精度。文中提出了一种梳状陷波器干扰抑制新方法。陷波器的零点位于单位圆，极点在非常靠近单位圆的径向方向上，传递函数在所设计的频点（直流、150 Hz、250 Hz、350 Hz）有超过140 dB的衰减，而对50 Hz无影响，在此基础上，让梳状陷波器输出与母线参考信号进行互相关计算，从而消除随机干扰带来的误差。现场测试表明，该方法的测量精度比传统方法有很大提高。