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用于圆片级封装的金凸点研制 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了电镀法进行圆片级封装中金凸点制作的工艺流程,并对影响凸点成型的主要工艺因素进行了研究.凸点下金属化层(UBM,under bump metallization)溅射、厚胶光刻和厚金电镀是其中的工艺难点,通过大量的实验研究,确定了TiW/Au的UBM体系,得到了优化的厚胶光刻工艺.同时,研制了用于圆片级封装金凸点制作的垂直喷镀设备,选用不同的电镀液体系和光刻胶体系,对电镀参数进行了控制和研究.对制作的金凸点与国外同类产品的基本特性进行了对比,表明其已经达到可应用水平. 相似文献
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作为全球预制棒、光纤和光缆解决方案领先的和主要的供应商,为推动这些产品的解决方案的商用化,特别是低水峰值预制棒、光纤解决方案的商用化,耐世隆不断在美国、瑞士和芬兰的研究与开发中心进行创新、开发新设备和工艺技术,在光纤需求量剧增的今天,为全球用户预制棒生产本土化提供了交钥匙的商用解决方案. 相似文献
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阐述了扩充本地网交换机操作端口的必要性,实现本地网固定电话业务的实时自动处理,详细阐述了如何利用PAD来扩展操作端口以及在交换机上实现的操作过程。 相似文献
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话务量预测在工程规划建设中有重要的意义,但常用的预测方法总体准确率不高,而LIBSVM算法在解决回归问题上表现出优良的性能。本文以H市连续587天早忙时话务量样本作为LIBSVM模型训练,之后用60个样本点作为测试数据,验证LIBSVM模型的预测性能,并对结果进行均方误差和平均相对误差的指标评价分析。 相似文献