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11.
针对不同应用的热敏MEMS器件的界面电路设计高性能放大器,提出建立与CMOS工艺兼容的热敏MEMS器件前置放大器的IP库的概念。通过提取相关热敏器件的典型参数,设计低功耗、低噪声且分别符合精度和速度等特殊要求的前置放大器,对3种不同结构的放大器进行分析研究,并利用Cadence软件,基于CSMC 0.5μm标准CMOS工艺库进行设计仿真。仿真结果表明:3种不同结构的放大器可以用于相应性能要求的热敏MEMS器件中。  相似文献   
12.
面向非制冷红外成像的低成本高性能应用,二极管原理的红外焦平面阵列的设计和工艺实现得到研究和发展.焦平面和读出电路的设计集成以及CMOS和MEMS工艺集成是此项技术的研究重点.基于SOI的二极管原理焦平面阵列在低成本的利用CMOS工艺实现大规模阵列集成方面有很大的优势.读出电路是基于标准CMOS工艺进行设计的.320×2...  相似文献   
13.
基于薄膜结构的MEMS技术研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
报导了基于低应力自支撑SiNx薄膜结构的MEMS部分研究结果,包括从薄膜生长工艺、内应力和薄膜微观结构控制、薄膜的物性分析、镂空自支撑薄膜结构的工艺制作、自支撑薄膜结构动力学的有限元模拟、到最后镂空自支撑薄膜结构在MEMS系统中的应用所做的部分研究工作。  相似文献   
14.
二极管非制冷红外探测器及其读出电路设计   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
针对非制冷红外技术的低成本高性能应用,提出了基于SOI的二极管红外探测器及其读出电路的集成设计方案。阐述了二极管非制冷红外探测器的基本原理和工艺实现。对探测器的电学特性进行理论推导,得出读出电路的设计指标。采用连续时间自稳零电路结构实现探测器输出信号的低噪声低失调放大,采用级联滤波器以减弱开关非理想因素的影响,并采用片内电容采样保持,使得I/O引脚数较少,从而减小版图面积。采用spectre工具进行仿真,在CSMC 0.5 m 2P3M CMOS工艺下实现。结果表明:读出电路性能良好,闭环增益为65.8 dB,等效输入噪声谱密度为450 nV/Hz,等效输入失调电压100 V以内,功耗为5 mW,能实现探测器信号的准确读出。  相似文献   
15.
传统地,MEMS红外探测器响应时间的测量需要基于黑体辐射源、斩波器、水冷装置等设备搭建一套复杂的测量系统,然而斩波器的遮挡区域和透光区域具有一定的面积,其按某频率工作时会消耗一定的时间,而测试所得的器件响应时间无法排除斩波器的工作耗时,导致测试结果存在较大误差,所测响应时间为14.46ms。为解决这一问题,提出了一种以钛宝石激光器为辐射光源,利用声光调制器构建纳秒级激光脉冲,MEMS红外探测器响应激光脉冲的作用输出脉冲电信号,很好地规避了测量系统中设备工作耗时引入的时间参数,所测响应时间仅为3.13ms。由此可见,传统方法中斩波器工作耗时引入的时间误差甚至超过器件响应时间的300%,充分证明了此方法可以有效解决这一问题,进而为MEMS红外探测器以及其它光学探测器性能参数的测试与计量提供了一种新的方法。  相似文献   
16.
IT触角无处不在。运动场上,IT技术让精彩的比赛瞬间定格,快速精确地进行成绩的测算、采集,信息共享、实时……8月22日,一个体育和IT完美结合的范例将在第21届世界大学生运动会上得到生动体现。为办好这个建国以来我国举办的第一个世界性综合性运动会,大运会组委会明确提出“新技术,新大运”的口号。组委会技术部部长戴维镛介绍,IT技术运用贯穿了大运会的全过程,从运动员入住大运村,注册,到运动健儿在比赛实时成绩的采集、处理、打印、公告等大部分步骤,都将由大运会计算机网络自动完成。没有高科技产品筑就的网络,就不可能网住精彩瞬间。戴维镛特别提到了本次大运会指定唯一网络设备供应商——紫光网络。他说,紫光网络提供给大运会的相关产品已经顺利通过了组委会的两次联调,“成功地筑造了大运会的神经中枢”。对此,清华紫光副总裁郭元林认为,“运动场是最新IT技术的试验场,展示IT新技术的窗口”,他们愿意接受这样的检验。同时还表示,这也证明了国内网络厂  相似文献   
17.
也许不巧,初识的海口并非想象的那样丽日晴空,而是细雨微风。空气温润清新,触目皆是浓密青碧的热带植物,远处风景水烟弥漫,这就是海南的冬天了。2000石油化工电子商务会议由每周电脑报/eWEEK 参与,中国化工学会信息技术应用专业委员会承办的,来自全国石油、石化和化工行业的生产、经销、研发等单位和 IT 厂商代表100多人到会。主办会议的负责人余乃言主任表示希望此全能加强国内石油化工企业和专家学者和信息技术厂商之间的沟通与交流.从在会上感受到的热度和所见所闻,我们感到中国石油化工行业的电子商务进程,在一两年间企业的自觉努力和多方因素催化下,小成气候,但前路还长。  相似文献   
18.
对许多行业而言,企业e 化不是选择,而是必须。有色金属行业也不例外。我国有色金属行业目前虽已形成巨大的产业规模和市场规模,有色金属产量位居世界第二,但我国还不是该行业的世界强国。企业技术装备落后,国际竞争力弱。与此同时,国外很多实力雄厚的有色企业开始向e 转型,开展电子商务。在经济全球化趋势下,市场竞争日益激烈,我国大多数有色企业要求得与国外对手同等的竞争力,用信息技术改造和提升企业是一条光明之路。  相似文献   
19.
为推进政府管理信息网络化,国家工商行政管理局计划投资4700万元建立工商行政管理系统非涉密的全国性内部业务工作处理系统,系统承建合同签字仪式9月14日在京举行。据介绍,该系统是在各省、自治区、直辖市、计划单列市及副省级市工商行政管理局为主节点,省、自治区、直辖市、计划单列市及副省级市工商行政管理局为一级节点的星型网络系统。在这个网络系统上,同时建立上下互通的业务处理应用系统和统一标准、统一规划、集中管理、资源共享的主题型数据库系统,从而达到规范信息采集和处理流程,强化政府的执法和管理职能的目的。该网络系统的建设目标是,争取用3年左右的时间,建立国家工商局与省级、计划单列市及副省级市工商局之间的计算机通信骨  相似文献   
20.
为实现微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计在应用过程中的实时补偿校准,以保证应用需求的高精度输出,本研究在建立测量值与真实值之间的加速度自校准模型的基础上,对加速度计在任意位置下的多组静态观测数据样本进行筛选,结合LM(levenberg-marquardt)算法和最小二乘法模型参数,优化了LM算法中过度依赖初值的问题。对于任意位置下的加速度计静态输出数据,滤波后筛选出可用于最小二乘法的姿态数据,用来修正部分或者全部第k次迭代模型参数,作为第k+1次迭代的初值;其他姿态数据用于LM算法训练拟合第k+1次迭代模型参数,实现加速度计应用过程中的闭环、实时校准。以智能鞋垫应用为例,本研究对比了传统十二面体法、椭球法、单纯LM算法和LM&最小二乘法自校准法对加速度计的校准结果。结果表明,在智能鞋垫的长期使用中,本研究提出的LM&最小二乘法自校准法消除了由于LM初值设定引起的模型参数解算不精准的情况,并可实现实时采集、实时解算、实时校准的目标,能够达到与传统标定方法相同量级的姿态精度。  相似文献   
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