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压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用单梁加质量块的形式,这种形式的传感器灵敏度比较高,但它的横向效应较难克服,文中提出一种四梁结构的加速度传感器,通过仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有良好的综合特性. 相似文献
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本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响.Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长.随着Mo厚度的变薄,Mo/Fe厚度比减少,Mo层没有足够的自由能约束Fe原子,Fe层形成稳定的bcc结构.当Fe外延生长在Mo层上时,晶格畸变导致铁钼层间产生很大的应力,使得薄膜出现均匀的细微裂纹.用胡克定律估算了其应力范围,约104MPa数量级. 相似文献
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低成本的MCM和MCM封装技术 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了多芯片模块(MCM)的相关技术.消费类电子产品低成本的要求推动了MCM技术的应用.对于必须高密度集成以满足高性能、小型化且低成本的要求的产品,MCM可选用多种封装技术. 相似文献
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贺自爱 《石油与天然气地质》1992,(2):236-236
郝石生、贾振远先生编著的《碳酸盐岩油气形成和分布》,是一部反映当代碳酸盐岩油气地质研究水平的专著。全书64万余字,分8章从各个侧面系统论述了碳酸盐岩油气的勘探现状和研究水平、碳酸盐岩的沉积特点、沉积环境、相模式、油气生成、运移、聚集、分布的各个环节和相互作用,既是多方位、高层次的理论概括,又是广泛、丰富实践成果的剖析。问世以来所以受到读者的欢迎和赞誉,原因在于此书具有集精汇萃的新颖和论证阐述的深广。 相似文献
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本文通过分析I—DEASGEODRAW尺寸标注的程序结构,以及与国家标注标准的若干差别,介绍了实现尺寸标注国标化的途径。 相似文献
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