步进扫描投影光刻机工件台和掩模台的进展

着重介绍了当前国外步进扫描投影光刻机的工件台和掩模台的发展状况，并对套刻精度和整机精度进行了分析。     

朗谬尔探针法测量横流CO_2激光器的电子密度

本文讨论了探针在流动等离子体中的鞘层变化,在厚鞘层情况下,用朗谬尔探针测量了在不同偏压和主放电电流下的离子电流,并计算出不同放电电流下的电子密度,给出了电子密度的顺流分布。     

自适应扩束系统控制"飞行光束"聚焦特性

提出了一种应用自适应扩束系统解决“飞行光束”聚焦特性的方法 ,分析了系统的工作原理及调节特性。数值模拟结果表明 ,自适应扩束系统能够实现对“飞行光束”聚焦特性亦即焦点位置与焦斑大小的控制。     

光纤电压互感器的研究进展

概括介绍电压互感器特别是光纤电压互感器的基本原理及研究状况，着重讨论了光纤电压互感器在实际应用中存在的问题，今后的发展趋势及发展中需要解决的问题。     

日本大力研制工业用CO2激光器

日本CO2激光制造商正对在该领域遥遥领先的美国和欧洲制造商挑战。由于日本激光制造商的技术力量已经加强，许多原来使用美国和欧洲CO2激光器的机械设备制造商现已改用日本产品。几家新厂商最近向市场推出廉价激光产品。似乎在不久的将来就会向激光器诞生地美国出口大批激光器。欧美制造商正通过推出新型号和在日本建立加工点来反击这种趋势。     

高反膜红外耦合窗口GaAs热变形的研究

从理论和实验上研究了高功率横流ＣＯ２激光器高反膜输出耦合窗口ＧａＡｓ的热形变。在作合理近似情况下，给出了ＧａＡｓ温度分布和热形变的理论表达式，并从实验上进行验证，理论和实验较好地一致。     

第三届激光在制造业中应用国际会议

本届会议于1986年3月在法国巴黎召开。自从第一届激光在制造业中应用的国际会议于1983年在英国布赖顿举行以来，作为制造行业工具的高功率CO2和Nd:YAG激光器的应用迅速增长。     

汽车零激光焊接质量控制

从激光器输出的偏振特性，辅助吹气系统的设计地控制３个方面介绍汽车零件激光焊接质量控制工作的进展情况。     

ZL111 Al合金激光熔覆中的非晶组织及其半定量测定

利用5kWCO2激光器激光熔覆Al合金表面的Ni－Cr－Al涂层,SEM与TEM分析结果表明,在激光熔覆层中的非晶组织呈空间扭曲薄片或杉叶状,它们分别存在于熔覆层颗粒间白色网状组织与颗粒中,利用差热分析（DTA）半定量测定熔覆层中的非晶含量,功率密度,扫描速度对非晶含量有较大的影响     

半共焦腔高反耦合窗口横流CO2激光器输出花样的研究

探讨了利用半共焦腔的“反演”特性及放电区增益分布特性以及调节平面高反膜红外输出耦合窗口来获得不同的对称性、均匀性良好的激光输出花样,并通过实验获得了与理论相符的结果