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文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件。设计了5μm×5μm的单模光波导,并用APSS软件进行了光场模式分析;利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;最后,利用紫外光敏胶将波导和光纤固定。  相似文献   
32.
通过对科技文献的归纳总结和分析比较,介绍了四种实现双向波长上下路的光分插复用器结构和工作原理,它们是:(1)基于FBG和多口光环形器;(2)基于波导光栅路由器和FBG;(3)基于阵列波导光栅(AWG);(4)基于解复用器/复用器对和光开关的OADM结构。  相似文献   
33.
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