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The copper removal rate and uniformity of two types copper slurries were investigated, which was performed on the 300 mm chemical mechanical planarization (CMP) platform. The experiment results illustrate that the removal rate of the two slurries is nearly the same. Slurry A is mainly composed ofa FA/OI1 type chelating agent and the uniformity reaches to 88.32%. While the uniformity of slurry B is 96.68%, which is mainly composed of a FA/OV type chelating agent. This phenomenon demonstrates that under the same process conditions, the uniformity of different slurries is vastly different. The CMP performance was evaluated in terms of the dishing and erosion values. In this paper, the relationship between the uniformity and the planarization was deeply analyzed, which is mainly based on the endpoint detection mechanism. The experiment results reveal that the slurry with good uniformity has low dishing and erosion. The slurry with bad uniformity, by contract, increases Cu dishing significantly and causes copper loss in the recessed region. Therefore, the following conclusions are drawn: slurry B can improve the wafer leveling efficiently and minimize the resistance and current density along the line, which is helpful to improve the device yield and product reliability. This investigation provides a guide to improve the uniformity and achieve the global and local planarization. It is very significant to meet the requirements for 22 nm technology nodes and control the dishing and erosion efficiently. 相似文献
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现有的大多数特征点提取算法适用于处理纹理丰富的图像,而对于弱纹理图像则无法提取有效的特征点. 对此,提出了多邻域结构张量特征(MNSTF)算法. 基于一系列固定的邻域和图像结构张量,通过表达局部图像的结构和纹理信息,解决了弱纹理和无纹理场景下特征点提取和匹配等相关问题;同时,通过计算邻域之间的相对方向,实现了MNSTF算法特征描述子的旋转不变性. 实验结果表明,MNSTF算法在经过旋转的弱纹理图像测试集上的特征点匹配准确率达到了99.9%以上,验证了其良好的适用性、旋转不变性和鲁棒性. 相似文献
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建立晶闸管控制角与异步电动机负载大小之间的精确模型,是提高晶闸管调压控制器负载适应能力和获取最佳调节电压实现高效节能的关键。以普通机床为研究对象,针对主轴电动机工作在轻载运行的状态,提出一种以电动机负载系数和负载系数变化率为输入变量、晶闸管控制角为输出变量的模糊控制算法,并借助Matlab软件进行系统仿真。结果表明,模糊控制器动态响应时间较短,节能效果良好。 相似文献
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程鹏飞 《承德石油高等专科学校学报》2016,18(2)
雷家地区沙四段发育湖相碳酸盐岩。由湖盆中心向湖盆边缘形成了页岩油气、致密油气、常规油气等油藏序列。总结该区不同类型油藏特点的基础上,认为该油藏序列的形成受生油、运聚、储层岩性、储盖组合等多种因素的控制,其中储层岩性是控制本区油藏序列分布的主要因素。建立多矿物模型最优化解释法计算储层矿物含量及物性,结合原油性质、产能等多因素,建立了油藏储层类型划分标准,并确定了各种类型油藏的分布范围。 相似文献
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高等教育长期以来主要侧重于科研与教学,尤其以单向传授知识为主体,忽视了学生个体学习的重要性以及科教协同育人的认识。教育的改革滞后于企业对人才提出的愈来愈高的要求。学教研协同的教育教学模式突出了学生为主体,教师为主导,科学研究为载体的三者之间的协同统一的作用机制。文章以具体教学课程《光学分析》为例,在分析学生实际情况基础上,对课程的教学方法进行思考,不断更新教学内容与教学方法,提议教学与科研相结合,改革评价机制,提高学生课堂积极性,真正培养学生理论联系实际能力。基于学教研模式,构建科教协同育人发展,为教育教学改革、高校人才培养以及企业服务提供理论基础和实践经验。 相似文献