新型碱性精抛液对300mm铜膜全局平坦化的影响

The copper removal rate and uniformity of two types copper slurries were investigated, which was performed on the 300 mm chemical mechanical planarization （CMP） platform. The experiment results illustrate that the removal rate of the two slurries is nearly the same. Slurry A is mainly composed ofa FA/OI1 type chelating agent and the uniformity reaches to 88.32%. While the uniformity of slurry B is 96.68%, which is mainly composed of a FA/OV type chelating agent. This phenomenon demonstrates that under the same process conditions, the uniformity of different slurries is vastly different. The CMP performance was evaluated in terms of the dishing and erosion values. In this paper, the relationship between the uniformity and the planarization was deeply analyzed, which is mainly based on the endpoint detection mechanism. The experiment results reveal that the slurry with good uniformity has low dishing and erosion. The slurry with bad uniformity, by contract, increases Cu dishing significantly and causes copper loss in the recessed region. Therefore, the following conclusions are drawn： slurry B can improve the wafer leveling efficiently and minimize the resistance and current density along the line, which is helpful to improve the device yield and product reliability. This investigation provides a guide to improve the uniformity and achieve the global and local planarization. It is very significant to meet the requirements for 22 nm technology nodes and control the dishing and erosion efficiently.     

SPCC表层粗晶缺陷原因分析和改进

有客户抱怨冷轧低碳铝镇静钢冲压后出现表层粗晶缺陷,通过该缺陷的形貌和形成机理的分析研究,提出改进思路,减少粗晶缺陷的发生。     

孝义市实施封山禁牧 大力推行牛羊舍饲圈养

孝义市委、市政府为了确保全市的造林绿化成果,加快推进科学养殖,根据《山西省封山禁牧办法》、《中华人民共和国动物防疫法》等有关法律法规,对全市草食畜全面实施舍饲圈养。     

55SiCr弹簧钢丝表面缺陷原因分析与改进

分析了55 SiCr弹簧钢丝矫直过程中发生断裂的原因,发现其中1圈钢丝表面局部区域存在锯齿状缺陷.取缺陷位置试样进行检验,结果显示裂纹两边局部增碳,存在网状渗碳体;裂纹中的物质Na含量较高,与保护渣成分相近.经分析认为,连铸浇铸中后期结晶器液面波动异常,保护渣卷入钢水导致成品表面局部增碳,进而造成矫直过程中发生断裂.通...     

RMT测井解释方法研究

油藏监测仪(RMT)是目前各种碳氧比测井仪器中计数率和测量精度最高的一种新型的测井仪器。本研究从碳氧比能谱测井基本原理出发,对RMT测井仪器结构、测井解释基本原理、数据记录格式以及测井解释方法进行了深入的研究,通过解编RMT测井记录的原始数据曲线,采用寻峰、加权最小二乘法等数学物理方法对原始谱进行了谱漂移校正,建立了RMT测井求解饱和度的数学模型。并在FORWARD测井解释平台下对现场RMT实测资料的处理结果与取心及其他测试结果的比较分析,表明所建立的解释模型和处理方法切实可行,测井解释符合率高。     

稳定裕度测试技术研究

针对模型未知或不确定的情况下确定系统的稳定裕度的问题,提出了利用实验方法获得系统的稳定裕度。对于MIMO系统,通过实验方法获得频响矩阵,应用回差矩阵最小奇异值法对稳定裕度进行估计,在实例中应用μ方法进行验证。目前很少有文献介绍利用飞行试验方法直接获取系统稳定裕度的方法,因此该文对于工程中系统稳定裕度的确定有着一定的意义。     

基于单片机与LabVIEW的光栅编码器检测系统

通过STC90C516RD+单片机采集开关磁阻电动机光栅编码器的转子相对定子的3个位置信号及其转速信号,用串口将数据传送到上位机。通过LabVIEW将采集到的信号进行合理的数据运算和处理,并且将数据文本输出,显示位置和速度信号的波形,来判断光栅编码器的性能是否符合标准。结果表明,该系统具有检测精度高、稳定性高、成本低廉和实现容易等优点。     

机床主轴电动机节能控制器的研究与实现

建立晶闸管控制角与异步电动机负载大小之间的精确模型,是提高晶闸管调压控制器负载适应能力和获取最佳调节电压实现高效节能的关键。以普通机床为研究对象,针对主轴电动机工作在轻载运行的状态,提出一种以电动机负载系数和负载系数变化率为输入变量、晶闸管控制角为输出变量的模糊控制算法,并借助Matlab软件进行系统仿真。结果表明,模糊控制器动态响应时间较短,节能效果良好。     

表层海水中声纳定位的声速问题

海水温盐跃层和深度方向上的梯度变化,导致海水声速的跃层和梯度变化,这种变化既有系统性,又有随机性,声速的不确定性导致水下定位系统的不稳定性问题。本文针对浅水水下定位系统中声速大小和声线弯曲问题进行研究,提出了用于几何法定位的平均海水声速线估计定位法。另外,基于射线声线理论构成的距离观测方程和时间观测方程都是不可导的非线性方程,该方程组的最小二乘问题是一类特殊的非线性最小二乘问题。本文提出了先分组迭代、后统计分析的"两步法"实现对这类特殊非线性最小二乘问题的求解。     

基于温室植物叶片纹理的病害图像处理及特征值提取方法的研究

为了实现温室病害的智能化防治,深入研究了植物病害图像处理中基于叶片纹理的特征值提取方法。通过对温室黄瓜斑疹病和角斑病的处理研究发现,利用灰度共生矩阵方法提取出来的惯性值是识别这两种病害较好的特征参量之一。