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直流放电辅助脉冲激光沉积Si基GaN薄膜的结构特征 总被引:7,自引:1,他引:6
采用直流放电辅助脉冲激光沉积技术,在Si(111)衬底上生长了Ga N薄膜.XRD、AFM、PL 和Hall测量的结果表明在2~2 0 Pa沉积气压范围内,提高沉积气压有利提高Ga N薄膜的结晶质量;在15 0~2 2 0 m J/ Pluse入射激光脉冲强度范围内,随着入射激光脉冲强度的提高,Ga N薄膜表面结构得到改善.研究发现,在70 0℃衬底温度、2 0 Pa的沉积气压和2 2 0 m J/ Pluse的入射激光脉冲强度的优化工艺条件下,所沉积生长的Ga N薄膜具有良好的结构质量和光电性能. 相似文献
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汽轮机转子表面温度是对其进行高温蠕变损伤分析及转子热应力、热疲劳分析的关键数据之一,为解决精确测量汽轮机转子表面温度的难题,通过理论与试验相结合研究了热电偶和光纤等接触式测量、红外辐射式非接触测量等不同方法的特点,及转子旋转、振动对红外方式测温的影响.结果表明:采用传统热电偶等接触式方式测量转子表面温度存在响应时间长、信号引出困难等固有缺陷;红外测温响应速度快,能够在一定程度上较准确地测量汽轮机转子的表面温度并且能长期对转子表面温度进行在线监测,转子的旋转及振动对红外测温系统影响很小. 相似文献
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系统介绍了国内外航空发动机叶尖间隙测量技术的研究进展,分析了这些技术的原理、特点及具体应用,并指出了发展方向。在此基础上,提出了适用于航空发动机高转速叶片在线监测的新方法,并介绍了一种可实现航空发动机叶片故障监测的膜片式高温光纤F-P声发射传感测量系统。 相似文献
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采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列。利用扫描电子显微镜(SEM)分析了在Si(100)衬底上通过微加工所获得的孔洞阵列和采用聚合物填充该孔洞所获得微锥阵列的形貌。研究表明:Si(100)衬底上倒金字塔孔洞阵列轮廓分明,内壁平滑;该聚合物微锥呈类圆锥的形貌,可用作制备场致发射微锥阵列的衬底材料。 相似文献
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