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多层难熔金属的刻蚀工艺技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性.研究了用下电极表层为阳极氧化铝的RIE完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属时氧化铝在Ar/SF6和Ar/CF4等离子体中对聚合作用的影响.通过实验发现,下电极表面的氧化铝经氩离子溅射会参与化学反应并加剧SF6等离子体中的聚合作用,形成大量聚合物.而在CF4等离子体中,下电极氧化铝的影响较小,聚合作用较弱,有利于多层难熔金属的刻蚀.提出了用Ar/CF4/CF4 O2完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属的三步刻蚀工艺技术.应用三步刻蚀工艺技术刻蚀具有微细图形、多层难熔金属的器件芯片,获得了良好的刻蚀效果. 相似文献
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本文主要通过备件经济订货模型的应用,以达到备件采购计划的科学性、合理性,进而探索普遍适用于钢铁企业的备件采购计划管理的的方式。 相似文献
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提出了一种基于光场的偏振图像快速提取及实时处理方法。以多核DSP TMS320C6678为核心处理器,实现了从光场图像的采集到偏振图像的提取以及处理等一系列连续过程。对系统硬件以及软件设计进行了详细介绍。系统采用DSP+FPGA的方式,其中FPGA模块实现cameralink相机接口以及图像采集,DSP模块实现图像的快速处理算法。光场图像采集、偏振图像提取及偏振信息反演及融合算法和软件的优化是保证系统高效工作的关键部分,并且进行了重点讨论,提出了相应的解决方案。实验结果表明,系统实现了多核DSP并行运算处理,比单核DSP运算速度提高4倍左右。 相似文献
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为了制备煤矸石基发泡地质聚合物并对其力学性能的影响规律进行研究,选取水玻璃、双氧水、NaOH、硬脂酸钠四种影响因素,每种因素取三个水平进行试验研究.研究结果表明:养护龄期对煤矸石基发泡地质聚合物材料的抗压强度影响显著,随着养护龄期的增长,试样的聚合反应程度逐渐增加,抗压强度提高,试样养护28 d的抗压强度为其养护7d强度的2倍以上;试样的抗压强度和弹性模量随着水玻璃、双氧水掺量的增加而增大;硬脂酸钠作为稳泡剂要适量添加,添加过多将使试样的抗压强度和弹性模量均降低. 相似文献
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任意方向匀速直线运动模糊的点扩展函数估计 总被引:3,自引:0,他引:3
在运动图像复原中,建立图像退化模型的关键是找到准确的点扩展函数(PSF)。提出了一种基于单幅图像的、改进的任意方向匀速直线运动模糊PSF的估计方法。利用基于图像频谱亮线灰度特征的方向鉴别方法鉴别模糊图像的模糊方向,利用微分自相关的方法对模糊图像的模糊尺寸进行计算,通过计算模糊图像沿二维直线运动方向不同距离的重叠度,来计算得到相应的PSF。通过开展仿真分析和成像实验,演示了PSF估计和图像复原过程。通过采用图像质量评价函数,将图像复原结果与现有算法进行对比,验证了所提出方法的有效性。 相似文献
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