自回归谱分析在圆度误差测量中的应用

本文利用自回归谱分析的方法精确地确定了工件外圆的各次谐波。以此为基础,计算了V型体法的比较系数;并用谱图上谐波次数的范围区分圆度、波度、表面光洁度及确定使记录图形产生畸变的偏心。     

半导体吸收式光纤温度传感器的研究

半导体GaAs对近红外光的吸收波峰值随温度升高向长波长移动,从而引起透射率随温度变化而变化。基于这一特性,设计了一种单光路的半导体吸收式光纤温度传感器。实验表明,该传感器精度可达±1℃,响应速度可达20 s。     

生物检测及分子诊断高端装备的 研制及应用

以生物检测与分子诊断技术发展为背景,总结了团队在医学诊断、疾控、食品安全、检疫检验、生物学医学科学研究等领域的分子诊断高端装备的研制情况,重点介绍了实时荧光定量聚合酶链式反应(PCR)分子诊断仪关键技术的研发及仪器工程化技术、检测性能的验证和在社会发展重点领域中的成功应用,手持式腺嘌呤核苷三磷酸(ATP)生物发光法细菌快速检测仪的研发与应用,以及后续的全自动核酸定量检测与高分辨分析设备研制。     

油气田监测高性能微传感器及数字化系统

针对油气田特殊环境要求,介绍了一种高温高压传感器芯片的设计及加工制造方法,并研发了相关的高性能数字变送系统。所设计的高温高压传感器芯片解决了传统压阻式传感器在高温高压环境下的热稳定性问题,通过数字补偿技术进一步提升了其系统的线性度与精度,并针对油气田监测环境扩展了其相关外围设备。同时,为了适应油气田管监测理要求,设计了相关无线传感网络,以确保其工业生产的高效运行和有效控制。通过具体实验测试数据,验证了该油气田监测高性能微传感器及数字化系统的高精度及高可靠性,该系统的精度达到0.2%FS及以上,达到世界先进水平,对国内的石化工业发展有着非常重要的意义。     

磁致伸缩液位传感器的电路设计及性能分析

介绍了磁致伸缩液位传感器的结构、工作机理以及电路模块化的实现方法,研究实现了脉冲电流发射、回波接收、差模电压放大、脉宽调制、电压调整电路的模块化设计。分析了影响传感器精度和稳定性的可能因素,给出了液位传感器的实验数据,测试结果表明,这种模块化的液位传感器,可灵活地调整电路参数和实现同时多点测量,具有很好的动静态特性,提高了传感器的整体性能,使传感器更加智能化。     

一种硅微多传感器集成研究

为满足小体积、多参数测量的要求,利用(100)晶面的各向异性压阻特性与MEMS加工工艺特性,在单芯片上集成制作了三轴加速度、绝对压力以及温度等硅微传感器,在结构和检测电路设计上最大限度地减小各传感器之间的相互干扰影响。三轴加速度、绝对压力传感器利用压阻效应导致的电阻变化测量外界加速度和压力变化量,温度传感器利用掺杂单晶硅电阻率随温度变化的原理来测量外界温度。集成传感器具有较好的工艺兼容性,加速度、压力传感器的压敏电阻和温度传感器的测温电阻采用硼离子掺杂制作,加速度和压力传感器设计成工艺兼容的体硅结构。研制的集成传感器芯片尺寸为4mm×6mm×0.9mm。给出了集成传感器的性能测试结果。     

基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究

采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片;通过动力学分析和有限元模拟,研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构;通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,研制出量程为±2000 g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加速度计.加速度计具有较高的测量灵敏度和精度,满量程输出为126.97 mV/2V,静态精度为0.86%FS.