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李明阳段大伟步超远赵晓翔王玉亮聂坤坤陈士娟李道杰 《真空科学与技术学报》2019,(10):927-931
本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+A-SI:H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折射率,透过率,及SI-H/N-H键含量,综合评价不同参数配比条件下N+A-SI:H单层膜的膜质表现,针对比较重要的参数:沉积速率,Thickness Uniformity,SI-H键含量进行了田口分析,两阶段策略优化选出PECVD制程中的N+A-SI layer的最佳参数配比为:Pressure-385.7 Pa,Spacing-20.32 mm,RF Power-13000W,Gas Ratio-3.12。 相似文献
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基于溶胶凝胶法,采用旋涂和喷涂相结合的工艺,制备了氧化钒(VOx,1≤x≤2.5)-氧化石墨烯(GO)复合薄膜。利用SEM、XRD、椭偏仪、紫外可见分光光度计、FTIR及高阻仪对所制薄膜的形貌、晶相、光学及电学性能进行了系统的表征测试。结果表明,加入GO之后,VOx-GO复合薄膜的电阻率由108.78 Ω·cm下降至68.64 Ω·cm,而薄膜的电阻温度系数(TCR)则由-1.98% K-1提高至-2.60% K-1。此外,VOx-GO复合薄膜还具有更高的光吸收率和工作稳定性。说明GO的加入增强了VOx薄膜作为非制冷红外探测器热敏材料的综合性能。本研究为探索基于VOx的新型红外热敏材料提供了参考,同时也对非制冷红外探测器的发展有促进作用。 相似文献
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在全三元流动计算的基础上,对一台0.8m直径的轴流式通风机进行了全面的叶片表面边界层的计算,包括层流边界层解,紊流边界层解.并判别了边界层的不稳定点,转捩点和分离点.获得了所有的边界层参数.该项研究成果为风机损失计算,叶片优化以及效率的提高提供了依据 相似文献
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通过对几种蜂窝纸板的可比性试验,分别得出其强度值.在此基础上,经过对试验数据的分析及处理,做出了综合性能二维曲线,从理论和试验上得出蜂窝纸板具备的优势及综合性能最优时的厚度和内径. 相似文献
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LQG/LTR法在综合飞行/推进控制系统中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
以具有推力矢量控制的纵向着陆状态的战斗机为研究对象.应用LQG/LTR(LinearQuadraticGaussian/LoopTransferRecovery)法设计综合飞行/推进控制IFPC(IntegratedFlight/PropulsionControl)系统的集中补偿器,设计结果表明:系统具有良好的鲁棒性和解耦性。 相似文献