多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究

准LIGA加工工艺通常只能加工单层准三维体。本研究采用SU-8胶准LIGA技术，解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题，加工出了三维五层一体化复杂结构。实践证明，所提出的工艺实际可行，进一步拓展了准LIGA工艺的应用。     

新型悬空结构射频微电感的制作与测试

利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System:微机电系统)工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容,且其高频性能较好。并对此结构微电感的性能进行了测试,测试频率范围在0.05~10 GHz之间,结果表明:当悬空结构微电感的悬空高度为20 靘,工作频率在3~5 GHz范围内时,其电感量达到4 nH,其Q值最大可达到22。     

基于MEMS技术的三明治型电磁式微振动能量采集器

本文中设计了一种结构新颖的三明治型电磁式微振动能量采集器,主要包括上线圈、下线圈和由永磁体与硅基平面镍弹簧构成的拾振系统.上、下线圈的对称性分布有利于充分利用永磁体周围的磁场从而提高整个器件的机械能-电能转换效率.实验样机主要采用MEMS微加工技术制作,其中的硅基平面镍弹簧采用体硅微加工和微电镀技术制作,双层铜线圈采用微电镀和聚酰亚胺绝缘层技术制作.实验样机的体积约为0.32 cm3.振动特性测试表明,在外界加速度小于8 m/s2时,永磁体振幅随着加速度的增加而增加,在加速度大于8 m/s2以后,振幅几乎不再增加,出现饱和现象.电学特性测试表明,在8 m/s2加速度作用下,单线圈和串联线圈产生的感应电压峰峰值分别为82.5 mV和125 mV,因此,三明治结构的新型设计使得输出电压增加了51.5%.另外,在加速度为8 m/s2、频率为280.9 Hz的外界振动激励下,实验样机产生的最大负载电压和最大负载功率分别为125 mV和13.2μW.     

影碟机市场广阔 百科类VCD前景看好

任何一种新产品从投入市场到退出市场,均经历一下几个阶段:即导入阶段、成长阶段、成熟阶段和衰退阶段,影碟机也不外于此。 导入阶段:新产品第一次投入市场,用户接受度低,销售速度通常是十分缓慢,需求正随着各种分销渠道创立,逐渐增长。由于此时期没有规模效益,所以成本较高,加上需要投入较大的促销费用,一般厂家获利微薄和难以打入市场。     

高电压分相计量电能脉冲实现技术

由于高压电能表相间存在高压电位差,各相电能信息需通过光纤或无线通信等方式进行高速通信,从而造成硬件成本高.提出一种基于高电压分相电能计量和慢速率通信的电能脉冲实现方法,将A、C相分别计量的电能信息在B相电能综合单元中进行综合及累加,计算本周期的电能增量,并将电能增量所对应的电能脉冲在下个周期内均匀地发出.理论和实际均表明该实现方法能在保证智能设备计量准确度的同时,大幅降低硬件成本.     

一种新型的微机械可变式光衰减器

介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片，使其插入两根准直的单模光纤的间隙中，依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器，并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明，当传输的光波长为1550nm时，该衰减器的平均插入损耗为2.5dB，衰减范围为2.5-45dB，回波损耗为40dB。     

浓香型白酒发酵过程中氨基甲酸乙酯形成的关联因子探究

浓香型白酒中氨基甲酸乙酯（EC）影响其安全性。该实验考察了浓香型白酒发酵过程中酒醅EC含量分别与环境因子及微生物的相关性。结果表明,EC含量随着发酵时间的延长呈上升趋势,主要发生在发酵的中后期;pH与EC含量呈负相关,系数为0.9,而水分则与EC含量呈正相关,相关系数为0.83,温度和乙醇含量对EC的形成有一定的促进作用,相关系数分别为0.48和0.71。此外,发酵体系中乳杆菌属（Lactobacillus）和和酿酒酵母属（Saccharomyces）与EC含量的相关系数为0.97和0.96,两者的丰度越高,EC越容易积累;芽孢杆菌属（Bacillus）则对EC的合成起到反作用,与EC含量的相关系数为0.78。因此可在浓香型白酒的发酵期间人为调控pH值、水分含量及上调芽孢杆菌属在发酵微生物中的比例,达到降低EC含量的目的。     

电磁型微马达的微转子研究

简要介绍了直径２ｍｍ电磁型微马达的结构和磁路。对微转子的设计和加工,多微磁极的写（充）入和均匀性进行分析和讨论。测量了不同充磁条件下的微转子剩余磁化强度和微转子之间的吸力。     

φ1mm电磁型微电机定子绕组研制

本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发1 mm电磁型微电机定子绕组的制备工艺。采用高 -高比光刻技术和掩模电镀工艺 ,解决了高 -高宽比线圈的制备工艺 ,有效地降低了线圈的直流电阻 ,另外用 Al2 O3薄膜溅射工艺解决了线圈层间的绝缘 ,并且提高了线圈的抗发热等级。本研究结果为 4层 2 8圈 3对 9组绕组系统。微电机定子绕组直径为 1 mm,最小线间距为 1 μm,最大工作电流可达 1 80 m A,单相直流电阻在 1 0— 2 0Ω之间。     

近邻软磁层偏置磁阻磁头结构参数设计的数学模型

概述了软磁层偏置磁阻磁头的工作原理和特点 ,采用传输线模型对其工作点的选取和结构参数进行了初步设计 ,与实验结果符合较好