不同电场环境对镀料脱靶方式及TiN镀层微观结构的影响

当前主流的镀层沉积技术中,电弧离子镀因镀料熔融喷溅脱靶致镀料中夹杂微米尺度高温颗粒,易使镀层表面粗糙和基体高温损伤;直流磁控溅射因镀料碰撞溅射脱靶致离化率低,易使镀层厚度不均和组织疏松。为解决以上技术缺点,依据气体放电等离子体物理学知识,采用新型阶梯式双级脉冲电场诱发阴极靶材与阳极腔体间气体微弧放电,依靠微弧放电后产生的高密度等离子体,增强Ar+对靶面的轰击动能和靶面产生的焦耳热,实现镀料由碰撞溅射脱靶向热发射脱靶的转变,并以此提高镀料的离化率,达到改善镀层结构的目的。实验结果表明：双级脉冲电场诱发的气体微弧放电呈现出耀眼白光,而靶面形貌则表现出高低起伏的凹坑和水流波纹,其靶面形貌不同于镀料碰撞溅射脱靶后的多边形凹坑,说明靶面局部区域的镀料以热发射方式脱靶。同时,在双级脉冲电场下制备的TiN镀层具有较为致密的组织结构,沉积速率可达51nm/min。     

英国城市规划法规体系

本文阐述并评价了英国的城市规划法规体系。同时对中国现行的城市规划立法体制提出相关的建议。     

英国城市边缘地带的土地开发

英国城市边缘地带的土地开发郝娟在世界上一些国家致力于分解城市功能、疏散城市人口和工业的时候，英国各主要中心城市的土地开发活动却由城市中心地区转向城市边缘地带，特别是转向城市边缘地带的绿带区，土地买卖市场出现了逆向运行的趋势。产生这种现象的主要原因是：...     

基于Stewart机构的变轴机床数控系统

该文针对所研制的BKX-1型变轴数控机床，介绍其基于PC的开放式数据系统。根据该机床轨迹控制采用主从二次插补的特点，以“PC SDP”为硬件平台，以“Windows VB”为软件平台构成数控系统。数控软件采用模块化结构，界面友好，并具有与CAD/CAM接口的功能。     

正反欧姆区间伏安特性对镀层均匀性及膜/基结合强度的影响

将靶材与真空腔之间的伏安特性引入正-反欧姆过渡区间,采用脉冲控制模式研究不同靶电流密度对镀层均匀性和膜/基结合强度的影响规律。实验发现,当靶面放电区电流密度(Id)由0.083 A/cm~2增加至0.175 A/cm~2时,靶电压随靶电流密度的增大呈线性增大关系,与之对应的镀层厚度差由7.984μm增大至14.011μm;但当Id由0.175 A/cm~2增大至0.25 A/cm~2时,靶电压随靶电流密度的增大呈线性减小关系,与之对应的镀层厚度差则由14.011μm减小至10.077μm;而薄膜厚度减小率由97.38%(Id=0.083 A/cm~2)降低为89.491%(Id=0.25 A/cm~2);另外,在反欧姆区,膜/基结合强度随Id的增大而快速增大。以上结果表明:反欧姆环境下有利于改善镀层的均匀性和提高膜/基结合强度。     

磁轴承三态脉宽调制开关功放设计研究

根据三态开关功放理论,利用SG3524,IR2110等集成芯片设计了磁轴承三态PWM开关功率放大器.理论分析和试验表明.该功率放大器具有电流纹波小、电磁干扰小、效率高等优点.     

自动励磁调节器切换回路改进

ＣＥＣ－ＡＬＳＴＨＯＭ公司制造的励磁调节器在设计时未考虑自动组ＰＴ一次高压熔断器熔断和二次回路断线的情况,致使蒙达公司３、４号机组发生上述情况时发电机跳闸。通过对励磁调节顺切换回路的改进、试验,使切换功能进一步完善,达到了预期效果。     

工业混煤煤粉中矿物质分布规律

采集广西华宏（HH）、广西华润（HR）、江西万年青（WNQ）、山西威顿（WD）和安徽狄港（DG）5个新型干法水泥厂的工业混煤煤粉样品,通过工业分析、浮沉试验、粒度分析和煤岩成分分析,研究工业混煤煤粉中矿物质的分布规律.研究发现,各工业混煤煤粉样品都呈现出随着煤粉粒度增加灰质量分数降低的规律,其中HH、HR、WNQ和DG煤粉中煤和矿物质分化程度较高,WD混煤煤粉的分化程度较差.煤粉样品中整体呈现出高密度级煤样产率随着粒度增大而逐渐降低的趋势,随着粒度增加外在矿物逐渐减少,灰质量分数随粒度的变化主要是由高密度级煤样质量分数变化引起的.在测定的密度和粒度范围内,HH、HR、WNQ和WD煤粉的产率主要集中在高密度细粒级,而DG煤样低密度级的产率较高.     

Design Method for the Magnetic Bearing Control System with Fuzzy-PID Approach

The five degree freedom magnetic bearing is researched and its structure and working principles are introduced also. Based on the fuzzy control technology, combining fuzzy algorithm and PID control method, identifying the transition process mode of the online system to get the PID parameters' self-adjusting, the magnetic bearing system's Fuzzy-PID nonlinear controller is designed by analyzing the system control demands. The Fuzzy-PID nonlinear controller can deal with the magnetic bearing system's open loop instability and strong nonlinearity, and the approach could improve the system's rapidity, adaptability, stability and dynamic characteristics. Comparative analysis and experiments are conducted between linear PID and nonlinear fuzzy-PID control methods, the results show that the fuzzy-PID controller is better, and the five-freedom magnetic bearing's rotary precision experiments are conducted by the fuzzy-PID controller, it satisfies the control rotary precision demands and realizes the bearing's steady floating and rotating.     

基于线性矩阵不等式的磁悬浮轴承多目标控制系统设计

首先建立了磁悬浮轴承局部子系统线性Takagi- Sugeno(TS)模糊模型，利用单点模糊化、乘积推理和加权平均得到整个系统的非线性模型。针对以往非线性系统的单目标控制设计，提出了基于线性矩阵不等式(LMI)的多目标模糊控制系统的设计方法。该方法将闭环控制系统的稳定性、抗干扰性及极点配置的要求统一到1个线性矩阵不等式组中，通过求解线性矩阵不等式组获得满足要求的控制器参数，利用并行分布补偿控制(PDC)方法得到整个系统的非线性模糊状态反馈控制器，实现了系统同时满足多目标的要求，并且避免了设计过程的多次反复。应用于磁悬浮轴承非线性系统的控制中，通过实验验证了该设计方法的有效性。