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121.
柳鸣  郭伟玲  孙捷 《半导体技术》2021,46(7):497-503
二维范德华材料凭借其优异的光学和电学特性,自被发现以来一直作为延续集成电路摩尔定律的重要基础电子材料而备受关注.通过机械剥离的方法得到高质量的二维材料进行实验室层面的研究工作已经不能满足现阶段的需要.采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术可以得到高质量的大面积二维范德华材料,并具有生长层数和成核密度可控的优势.以过渡金属硫化物(TMDC)为例,分别从生长条件、金属有机源材料、衬底、催化剂等方面综述了采用MOCVD技术生长二维范德华材料的研究进展,同时讨论了二维材料的范德华异质结构的特性及应用.利用MOCVD技术优势可以推动二维范德华材料的大规模应用.最后总结了 MOCVD法生长二维范德华材料现阶段的优势与不足,并对其未来的发展进行了展望.  相似文献   
122.
半导体器件金属化与接触可靠性的改善   总被引:1,自引:0,他引:1  
郭伟玲  李志国 《微电子学》1996,26(4):235-239
描述了目前采用的界面效应合金效应,覆盖效应和回流效应等四种提高半导体器件金属化和接触可靠性的方法及其特点。介绍了最新研究成果,展望了其应用前景。  相似文献   
123.
电徙动失效是VLSI金属化系统的主要失效形式.本文提出了一种新型TiW膜自加热结构,产生沿金属化条长方向的温度梯度.文中采用分别独立的的试验和测温金属条结构,利用电阻与温度间的线性关系精确确定金属条上的温度分布,首次从理论和实验上深入研究了电徙动失效与温度梯度间的动力学关系.实验结果表明,在20~35℃的温度梯度作用下,电徙动平均失效时间、空洞失效位置和电徙动电阻变化呈现新的特性  相似文献   
124.
全方位反射镜(ODR)AIGaInP发光二极管能够有效提高光提取效率。对全方位反射镜的设计及工艺进行优化:采用2/4n厚的SiO2作为介质,光刻腐蚀导电孔,带胶保护,溅射AuZnAu,剥离后,再溅射300nmAu层,形成的ODR退火后在波长630nm处的反射率为72.1%,而单次溅射AuZnAu的反射率退火后为63.2%。实验结果说明新工艺满足了欧姆接触的需要,反射率提高了8.8%。  相似文献   
125.
哈尔滨气化厂生产的粗酚是煤气化后生成的副产品,它的分析采用YB/T5080-1993规定之测定方法。但在YB/T5080-93分析方法中,共沸混全物煤油-二甲苯中煤油的清洗及精制过程写的很粗略,怎样省时、省力、又经济地达到清洗、精制目的并取得分析的良好效果,很值得我们讨论。  相似文献   
126.
激光熔覆陶瓷涂层研究现状与展望   总被引:1,自引:0,他引:1  
陶瓷材料具有高硬度、高熔点、高耐蚀等特性,常被应用于机械装备关键零部件的表面强化改性和再制造修复。随着装备服役工况日益苛刻,传统金属材料所制备的装备运动部件在服役过程中易于发生磨损、腐蚀、变形等失效,进而导致服役性能退化,严重时甚至引发装备恶性故障。激光熔覆作为一种高效的表面强化和再制造技术,在提升基材表面耐磨、耐蚀、耐热、抗高温氧化等性能方面具有重要应用前景。通过激光熔覆技术在零部件表面制备陶瓷涂层,对于延长关键零部件寿命、提高资源利用率、节约稀贵金属材料具有重要意义。首先按照陶瓷涂层的组织结构和成形机理对激光熔覆陶瓷涂层进行了分类介绍;然后结合激光熔覆制备陶瓷涂层的典型缺陷详细阐述了涂层质量优化的常用方法;而后综述了激光熔覆陶瓷涂层在提升零件耐腐蚀、耐磨损、耐高温性能和提高生物相容性等方面的应用情况;最后,总结了激光熔覆陶瓷涂层技术发展现状,并展望了激光熔覆陶瓷涂层技术的发展趋势。  相似文献   
127.
制备了一种新型双波长和单波长隧道再生半导体激光器,测试了两种激光器在25~105℃温度范围内的P-I特性曲线,对比分析了两种激光器输出光功率、阈值电流、斜率效率随温度的变化。测试结果表明,新型双波长隧道再生激光器有高输出功率、高斜率效率以及双激射波长等优点;高掺杂隧道结的引入以及双有源区的器件结构导致其热特性略差于单波长半导体激光器。  相似文献   
128.
对具有Al-Si-Pd/TiN/Ti/PtSi/Si(样品A)和Al-Si-Pd/Ti/PtSi/Si(样品B)两种新型金属化结构的微波管的EB结在不同温度、相同电流条件下进行了加速寿命试验,得到其中值寿命(MTF)相差近一倍,激活能分别为0.92和0.79eV,并给出了在温度和电流应力下EB结反向击穿特性的变化规律  相似文献   
129.
提出了金属-半导体欧姆接触退化的快速评估方法--温度斜坡快速评价法,并建立了自动评估系统,用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能,和传统方法相比,耗时少,所需样品少,所得结果和传统方法一致.针对传统AuGeNi/Au欧姆接触系统的缺点,提出了加TiN扩散阻挡层的新型欧姆接触系统.实验表明新型欧姆接触系统的可靠性远远优于传统AuGeNi/Au欧姆接触系统.  相似文献   
130.
针对目前本科院校摄影测量教学内容与方案存在更新缓慢、与实际生产联系不够密切、课程实践体系不完善等问题,基于教学实践以及专业认证背景下的人才培养要求,结合实际教学经验与就业状况调查结果,分析"摄影测量"课程的理论、实践教学以及教学方法的改进方向.最终提出理论教学内容按照流程化原则安排、实践教学方面增加或强化集中课程实习环节、教学方法方面采取线上线下混合教学模式并引入"对分课堂"等新型教学模式.研究对改进当代"摄影测量"的教学方案、强化学生的工程实践意识与能力具有积极意义,为培养满足社会需求的高层次专业人才提供参考.  相似文献   
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