大口径凸非球面面形检测方法研究

提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。     

光刻机照明系统中光束稳定技术研究

光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布。光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模块之间的光束传递矩阵,并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统。对系统性能进行了测试,通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果:系统的指向稳态误差低于±3μrad,位置稳态误差低于±0.04mm,系统调整时间小于80ms。结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置。     

基于二维光栅和检偏器阵列的实时空间偏振解码技术

提出了一种基于二维光栅和检偏器阵列的空间偏振解码技术。编码光场中一部分光束经过孔径光阑、1/4波片后由二维光栅衍射分束,不同级次的衍射光被聚焦在空间滤波器上获得(±1,±1)级四个衍射光束,它们经检偏器阵列后被探测器阵列所接收,利用探测到的四路光强信号可以实时解码得到空间位置信息。该技术可将空间偏振编码的相位延迟量范围扩大到-180°～180°,在相位延迟量-90°、90°附近仍可以精确解码。实验采用的空间编码光场的测量范围为-9.32～9.68 mm,三次实验结果的最大测量误差为0.15 mm,很好地验证了该技术的有效性。     

一般通风用空气过滤器性能自动检测系统的研制

基于欧洲标准EN779:2002,研制了一套一般通风用空气过滤器性能自动检测系统,包括检测台和相应的软件。首先,简单介绍了检测台的总体布局,详述了该检测台中传感器和控制部件的选型与部署;然后,从开发语言选择、设备管理、检测过程、数据组织及报表输出等各方面说明了软件开发的思想和过程。系统经性能考核,运行稳定,能够输出符合欧洲标准EN779:2002的全套测试数据报表。     

土耳其TANAP工程用感应加热弯管制造标准及技术难点

为了适应土耳其TANAP管线项目用感应加热弯管的技术要求,对TANAP工程标准与国内常见标准的主要差异进行了对比,同时对管体力学性能、几何尺寸控制及测量、制造工艺、内防腐工艺、静水压试验等主要技术难点进行了研究。指出,采用系列热模拟试验以及设置多组测温位置等手段制定了精准的生产工艺,兼顾弯管的强度和韧性;开发"夹具开合+线圈移动"法实现弯管整体加热;引进了管端扩径技术装备以及管端仿形技术,保证了管端外径尺寸、椭圆度及坡口加工质量;开发弯管内防腐机械化自动喷涂以及静水压试验设备完成弯管内减阻层涂覆及静水压试验。生产实践表明,为解决主要技术难点开发应用的新工艺、新技术和新设备可以满足TANAP项目弯管生产的需要。     

微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法

针对微反射镜阵列（MMA）微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。     

未来的地理信息系统展望

文章概括了国内外ＧＩＳ学术界的专家学者的观点,指出了未来ＧＩＳ发展方向和趋势。     

反应堆抽运Xe激光多折腔研究

针对反应堆抽运激光(RPL),介绍了一类具有多折光路、与反应堆有较高耦合效率的谐振腔。在俘获放能介质于腔内均匀分布的情况下,给出了激光器的匹配设计要素和裂变反应能在腔内的沉积,提供了该腔型耦合优化的模拟方法,为较大规模的RPL实验提供了理论依据。     

投影变换方法在光学测量投影仪系统圆度表示中的应用

针对光学测量投影仪测量圆形工件时圆度指标的图形表示,提出了一种几何投影变换方法,将原非单调区间的离散点投影在某单调区间内,在此单调区间内运用插值算法进行曲线拟合后,再对数据进行反向投影,使得原非单调区间内离散点光滑地连接起来,使圆度的图形表示更加合理。几何投影变换方法克服了一些用于连接离散数据点的插值算法不能在非单调区间使用的局限性,拓展了上述算法的应用范围。     

基于光栅传感器的位移测量仪的研制

本文介绍一种基于光栅传感器的位移测量仪。它通过硬件电路对2个光栅传感器输出的信号分别进行20细分,然后对细分后的信号分别进行辨向和计数,再使用一个微处理器对辨向信号和计数信号进行处理,得到X-Y工作台在坐标X和坐标Y方向的位移值,最后根据误差修正算法对位移测量值进行修正,得到该仪器的测量分辨率为1μm且测量精度达±2μm(1σ)。此外,所研制的测量仪具有可靠、易于扩展和调试方便的特点。