刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究

扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。     

基于紫外光诱导荧光的渗透性纸张上微量物证检测技术研究

为解决刑事案件中附着于渗透性纸张上的无色微量物证探测难的问题,分析常用纸张的紫外荧光特性,为滤除纸张上的强背景荧光提供依据,研制基于紫外光诱导荧光的渗透性纸张上微量物证检测装置。检测装置中,为有效激发各种微量物质荧光,采用光子能量高的深紫外激光作为激发光源;为获得更准确的痕迹信息,装置接收多光谱荧光并进行结果比对;同时,提出以背景灰度标准差来衡量纸张荧光的均匀性,以图像痕迹对比度评价痕迹的检测效果。使用本装置对常用纸张上的指印、明矾等5种无色痕迹开展实验验证,结果表明,所提方法能清晰显现纸张上的潜指印,且获得的指印条纹对比度与纸张背景灰度标准差成反比;同时,学生作业纸上的10%明矾溶液痕迹信息、复印纸上的2.5%谷氨酸钠溶液痕迹信息、便利贴上的2.5%磺酸钠溶液痕迹信息、便利贴上的0.004%硫酸铜溶液痕迹信息均能清晰显现。所提方法具有检测灵敏度高、非接触性、非破坏性、多光谱等优点,能快速获得高荧光纸张上多种微弱痕迹的清晰图像,为刑事侦查提供有力的帮助。     

抗延性断裂X80厚壁直缝埋弧焊管的研发

为了满足油气输送管道对钢管止裂韧性的要求,采用超低C、低S、低P、无Mo或少量Mo以及Ni-Cr-Cu-Nb为主的合金设计体系和控轧控冷技术,开发出抗延性断裂的X80钢级Φ1 219 mm×33 mm厚壁直缝埋弧焊管。按照标准对该产品进行了夏比冲击性能、DWTT性能检测。检测结果显示,钢管管体屈服强度为570~665 MPa,抗拉强度为640~746 MPa,焊接接头抗拉强度为655~740 MPa;-10 ℃条件下母材夏比冲击功平均值达380 J,焊缝夏比冲击功平均值达165 J,热影响区夏比冲击功平均值达283 J;0 ℃条件下全壁厚DWTT试样剪切面积平均值＞80%。各项性能试验结果表明,开发的钢管满足抗延性断裂的要求,同时具有优良的低温韧性。     

二维码概述及应用研究

随着智能手机的普及,带动了整个二维码的发展与应用突飞猛进。本文主要介绍了二维码技术标准、二维码编码及识读步骤、手机二维码等在国内外应用领域情况。     

白光尘埃粒子计数器光学系统的改进

本文分析了白光尘埃粒子计数器的光学系统存在的缺点，提出了照明系统和散射光收集系统的改进方案。实测结果表明，改进后的直角散射形式的白光尘埃粒子计数器光学系统更适合于对亚微米尘埃粒子的探测。     

光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法

针对光刻机照明系统的实际应用需求,提出了一种光瞳特性参数的评估算法。该算法通过对光瞳强度分布进行转换,可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、Y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数。以一种28 nm节点扫描光刻机照明系统的中继镜组为实例,对其在传统照明模式下进行光瞳特性参数计算分析。仿真结果显示,全视场光瞳椭圆度最大值为0.95%,X方向和Y方向光瞳极平衡性最大值分别为0.18%和0.19%,四象限光瞳极平衡性最大值为0.66%,均满足28 nm节点扫描光刻机实际指标需求。所提算法在光学设计阶段能快速评估光瞳性能。     

接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析

根据菲涅尔－基尔霍尔衍射公式,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布,并在几种条件下进行了模拟数值计算,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率 的效果和应用前景。     

尘埃粒子的激光散射测量

激光散射法是快速、准确测定尘埃粒子大小的新方法。从Mie散射理论出发,提出了尘埃粒子的激光散射测量系统中各部分的设计要求,以及达到这些要求的一般方法。给出了一个测量系统的实例。     

光学光刻中的离轴照明技术

本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较 ,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析。研究表明 ,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术。