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本文报道了工作气压对射频溅射法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜影响的实验结果.c-BN薄膜沉积在p型Si(100)衬底上,溅射靶为六角氮化硼(h-BN),工作气体为Ar气和N2气混合而成,薄膜的成分由傅里叶变换红外吸收谱标识.结果表明,与射频功率、衬底温度和衬底负偏压一样,工作气压也是影响c-BN薄膜生长的重要参数.要得到一定立方相含量的氮化硼薄膜,必须要有合适的工作气压,否则,薄膜中不能形成立方相.在工作气压为5×10-3乇时,得到了立方相含量在90%以上的立方氮化硼薄膜. 相似文献
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圆网造纸机车速难于提高,除本身结构特点的限制外,还有湿部脱水能力、干燥部的干燥能力不够等原因。在冬季,时而产生烘缸汽罩滴水现象。这当然与气温 相似文献
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为了降低a-Si:H薄膜中的氢含量,提高其稳定性,在我们MWECR-CVD系统中引入了热丝装置,热丝对等离子体的热辐射使等离子体升温,既促进了气体的进一步分解和电离,获得较多的低氢原子基团,也减少了活性高硅烷聚合物的生成,从而使薄膜中的(SiH2)n的含量降低。同时,热丝对样品表面提供的热辐射和光辐射也可以进一步降低薄膜的氢含量。实验结果表明,用这种装置沉积的a-Si:H薄膜,氢含量可降低到4.5at%左右,稳定性明显增强,光敏性也有一定改善。 相似文献
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1 宜使用超塑化剂和引气剂改善高掺量工业废渣混凝土性能
工业废渣的水化活性一般较低,其临界值在工业废渣-水泥体系中则更低,目前普遍以提高细度的方法来激发工业废渣的水化活性.为了满足混凝土的工作性,必然要增加其需水量,所以在高掺量工业废渣混凝土中引入超塑化剂是十分必要的,能够在保证胶凝材料水化较完全和混凝土工作性的前提下,尽可能减少混凝土的需水量.另外,混凝土中掺入引气剂,在搅拌过程中能够引入大量分布均匀、稳定而封闭的微小气泡.大量微小气泡的存在相对增加了混凝土的体积,可提高混凝土的流动性,还可以改善混凝土的粘聚性和保水性.由于气泡能隔断混凝土的中毛细管通道,对水泥石内水分结冰所产生的水压力有缓冲作用,故能显著提高混凝土的抗渗性和抗冻性. 相似文献
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陈光华 《煤炭加工与综合利用》1994,(1):10-12
浅谈气垫胶带运输机在我国的发展前景陈光华开滦林西矿选煤厂(河北063102)1气垫胶带运输机在国内、外的发展概况气垫胶带运输机是在70年代由荷兰、英国、美国先后发展起来的。我国在80年代初开始研究,1986年由河南太行机械厂生产出第一台并投入工业性试... 相似文献
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当前,造纸工业中机泵使用量大,是主要耗电能设备。这些如何对机泵进行技术改造与合理选用,确是造纸企业降低能耗的一个关键问题,是节能工作一项重要技术措施. 相似文献