一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度     

石门—小阶段采场系统在严家湾煤矿的应用

针对急倾斜厚度不稳定煤层,严家湾煤矿尝试运用石门—小阶段开采系统建立生产系统,该开采系统安全可靠,在复杂地质条件下通过降低井巷工程量,取得了良好社会和经济效益。     

谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装

为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜;然后,通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后,利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通孔,通过硅-玻璃阳极键合实现谐振梁的圆片级真空封装和电连接,成功地将谐振器封装在真空参考腔中。对传感器的性能测试表明:该真空封装方案简单有效,封装气密性良好;传感器在10kPa~110kPa的差分检测灵敏度约为10.66 Hz/hPa,线性相关系数为0.99999 542。     

中小型水电站水轮发电机组常见故障与检修研究

以西藏林芝老虎嘴水电站水轮发电机组为例,主要阐述其发电过程中容易出现的故障,并提出了具有针对性的检修措施,旨在为中小型水电站的正常运行提供可靠的理论基础。     

电力变压器可靠性指标的贝叶斯估计

本文从变压器产品失效寿命特性出发，运用贝叶斯方法和机械优化设计理论，提出了确定变压器可靠性指标的贝叶斯最大后验密度最优化的数学计算模型，并在此基础上编制了可供实际应用的计算机程序。通过实例运算表明，这一方法具有工程实用的价值。     

一种基于MEMS技术的新型谐振式微流量传感器

提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器.该传感器采用电磁激励方式.传感器主要由1个3 μm 厚H型谐振器、1个40 μm厚的悬臂梁平板(2 000 μm×5 000 μm)以及连接平板和框架的2根40 μm厚的支撑梁组成.谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率.文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果.测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1 000.但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系.     

禾草沟煤矿首采工作面矿压规律研究

延安市禾草沟煤矿地质构造简单,准备布置第一个综合机械化采煤工作面进行煤炭开采。通过相似材料模拟试验,认识了首采工作面推进过程中,直接顶初次破断距、基本顶初次来压和基本顶的周期来压,煤层上覆岩层冒洛带、裂隙带和弯曲下沉带随煤层推进的发展规律,模拟支架的支护阻力值。从而对现场采煤工作面顶板分类、顶板管理和液压支架选型具有一定的指导意义。     

一体式带钢干燥器的设计及应用

介绍了一体式带钢干燥器的设计原理及干燥过程中相关参数的分析计算。新型一体式带钢干燥器具有结构紧凑、高效节能的特点。