一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器，器件由上下两硅片键合而成，上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁，下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析，器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度。     

一种半岛型结构谐振梁压力传感器

提出了一种新型结构压力传感器 ,器件由上下两硅片键合而成 ,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁 ,下硅片制作矩形压力膜。应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析 ,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试。实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度     

石门—小阶段采场系统在严家湾煤矿的应用

针对急倾斜厚度不稳定煤层,严家湾煤矿尝试运用石门—小阶段开采系统建立生产系统,该开采系统安全可靠,在复杂地质条件下通过降低井巷工程量,取得了良好社会和经济效益。     

气相色谱-离子迁移谱法结合多元统计分析方法鉴定不同产地贝母

目的 比较13种不同产地贝母中的挥发性物质组成差异,建立一种简便、快速、准确鉴别不同产地贝母的特征指纹图谱的检测方法.方法 气相色谱-离子迁移谱法(gas chromatography-ion mobility spectrometry,GC-IMS)对不同产地贝母的挥发性物质进行定性和相对定量分析,结合主成分分析(p...     

谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装

为了提高传感器的品质因数,有效保护谐振器,提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE),分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜;然后,通过氢氟酸缓冲液腐蚀SOI晶圆的二氧化硅层释放可动结构。最后,利用精密机械加工技术在Pyrex玻璃圆片上制作空腔和电连接通孔,通过硅-玻璃阳极键合实现谐振梁的圆片级真空封装和电连接,成功地将谐振器封装在真空参考腔中。对传感器的性能测试表明:该真空封装方案简单有效,封装气密性良好;传感器在10kPa~110kPa的差分检测灵敏度约为10.66 Hz/hPa,线性相关系数为0.99999 542。     

基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究

为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000 Hz/g.     

中小型水电站水轮发电机组常见故障与检修研究

以西藏林芝老虎嘴水电站水轮发电机组为例,主要阐述其发电过程中容易出现的故障,并提出了具有针对性的检修措施,旨在为中小型水电站的正常运行提供可靠的理论基础。     

电力变压器可靠性指标的贝叶斯估计

本文从变压器产品失效寿命特性出发，运用贝叶斯方法和机械优化设计理论，提出了确定变压器可靠性指标的贝叶斯最大后验密度最优化的数学计算模型，并在此基础上编制了可供实际应用的计算机程序。通过实例运算表明，这一方法具有工程实用的价值。