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日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。 激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列 起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样 正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘 就能观察到散射光。 利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂 除了物镜成像透镜外 还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单 光学检查探头约为以前的一半 可实现小型轻量化。装置的设置面积可减到以前的/。以前 《激光与光电子学进展》2001,(4):63-64
日本电气株式会社开发了一种能在LSI生产线上高效检查极板灰尘和图形缺陷等障碍的技术“LB显示器”。
激光束对着极板斜向射入。极板上的图形有规则地排列,起衍射光栅的作用。新技术的要点是用空间滤波器去除图形的散射光。这样,正常极板发出的光不会射入显微镜。如果图形上有缺陷或吸附有灰尘,就能观察到散射光。
利用激光束检查极板以前曾有过。其光学系统比较复杂,除了物镜、成像透镜外,还有中间透镜等。而LB显示器的光学系统简单,光学检查探头约为以前的一半,可实现小型、轻量化。装置的设置面积可减到以前的1/5。以前的检查装置不能编入生产线,设置在另外的检查区域。LB显示器可设置在制造装置附近,因为光学头简单,故可靠性高,有利于维护。
因为能把检查结果即刻反映到生产线上,故大大提高了成品预测精度。现在,LSI生产方面的研究开发费、设备投资年年都在膨胀,为回收这笔费用,须开发新工艺、新装置,极力缩短从制作到批量生产和成品提高的时间。新技术有助于这些课题的解决。 相似文献
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德国汽车工业寄希望于亚洲 总被引:1,自引:0,他引:1
由于欧洲和北美市场对汽车的需求下降 德国汽车工业更加关注亚洲 特别是中国市场的发展.业内人士在近日举行的<商报>行业研讨会上指出 预计美国明年的汽车销售额将下降.除汽车生产商外 汽车零件供应商也将受到严重影响 需要采取减少开支 包括裁员等措施来应对.由此 亚洲市场对德国汽车业的重要性进一步显现.与会者认为 随着经济的持续增长 中国对汽车的需求将越来越大.预计今年中国市场的轿车销售量将达到万辆 今后五年将翻一番.此外 入世后进口关税等人为贸易限制的逐步取消也将为中国汽车市场的发展提供新的动力. 由于销售 《工具技术》2001,35(12):46
由于欧洲和北美市场对汽车的需求下降,德国汽车工业更加关注亚洲,特别是中国市场的发展.业内人士在近日举行的<商报>行业研讨会上指出,预计美国明年的汽车销售额将下降.除汽车生产商外,汽车零件供应商也将受到严重影响,需要采取减少开支,包括裁员等措施来应对.由此,亚洲市场对德国汽车业的重要性进一步显现.与会者认为,随着经济的持续增长,中国对汽车的需求将越来越大.预计今年中国市场的轿车销售量将达到80万辆 ,今后五年将翻一番.此外,入世后进口关税等人为贸易限制的逐步取消也将为中国汽车市场的发展提供新的动力. 由于销售前景乐观,且工资水平比同地区的韩国和日本都低,不少德国汽车企业正积极考虑将生产线转移到中国.宝马公司董事Ganal认为,中国政府将在近期内对有关汽车小批量生产的法律法规进行修改,由此,生产高档汽车的外国企业也可在中国生产自己的产品, 并实现盈利.目前,外国汽车企业要想在中国进行生产,年产量必须达到12.5万辆的水平 .而宝马公司认为,这一最低限量偏高,几万辆对其比较合适.宝马准备将来在中国进行整车组装,而不是建立完整的生产线. 相似文献
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据外刊报道 在未来年中 中国的化纤工业将明显增长. 从年到年 中国的聚酯长丝生产将增长% 聚酯短纤生产将增长% 腈纶棉生产将增长%.聚丙烯短纤生产也将增长% 聚氨酯膨体变形长丝生产将增长%. 随着中国向西方国家出口纱布和服装的增加 中国对纤维的需求也在增加.此外 由于中国国内的一些地区人口的收入迅速提高 其纤维消费也快速增加. 全球纺织品和服装贸易的配额限制将在年被取消 这也将促进中国的纤维需求. 中国若要在世界市场上进行竞争 就需提高其化学纤维的生产能力.中 《化工学报》2001,52(3):269-269
据外刊报道 ,在未来 5年中 ,中国的化纤工业将明显增长 .从 2 0 0 0年到 2 0 0 5年 ,中国的聚酯长丝生产将增长 6 1% ,聚酯短纤生产将增长 34% ,腈纶棉生产将增长 2 9% .聚丙烯短纤生产也将增长 33% ,聚氨酯膨体变形长丝生产将增长 133% .随着中国向西方国家出口纱、布和服装的增加 ,中国对纤维的需求也在增加 .此外 ,由于中国国内的一些地区人口的收入迅速提高 ,其纤维消费也快速增加 .全球纺织品和服装贸易的配额限制将在 2 0 0 5年被取消 ,这也将促进中国的纤维需求 .中国若要在世界市场上进行竞争 ,就需提高其化学纤维的生产能力 .中国… 相似文献
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2月4日,立春。
草长莺飞二月天,拂堤杨柳醉春烟,以往到了这个时候,诗人们总要咏叹春天的来临,春天,是一片绿意盎然的景色。
然而对于2月14日的情人节,以及2月18日的春节来说,这两个节日却一直给人红色的感觉,火热的爱情、深情的亲人相聚时分,这一切都需要用红色才能真实地表达出来。
因了情人节,春节的缘故,2月成为一个火红的月份,以“红色月”命名的专题,将带给情人们最好的礼物建设,带给亲人们最好的节日祝福,情人节&春节的导购专题,为电脑爱好者提供最佳的节日庆典辅助。 相似文献
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Philips半导体公司的SeeMOS传感器UPA是一个具有VGA分辨率 《国外电子元器件》2000,(12):44
Philips半导体公司的SeeMOS传感器UPA1021是一个具有VGA分辨率(640H×480V)的高度集成的1/4″CMOS图象传感器。该传感器利用Philips的SeeMOS技术实现高分辨率和低噪声。它在12MHz的频率下输出可达30fps(帧每秒)。其特殊的微透镜设计将填充因子提高到2,同时利用Philips的DSP芯片SAA8116并用RGB BayerCFA(色彩滤波器阵列)提供色彩元素以实现色彩再现。
该传感器可以通过一个I2C的串行接口进行数字编程,并配备一个集成PGA(可编程增益放大器),可提供高达24dB的增益,在高分辨输出下可实现每步0.094dB的分辨率和9位的ADC(模数转换器)。它适合于在各类光照明条件下工作。 咨询编号:001231 相似文献
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